* ÀÚ·á¼³¸í
¹ÝµµÃ¼ ¿£Áö´Ï¾î ÀÚ±â¼Ò°³¼
¼ºÀå°úÁ¤
Àú´Â ÇÏ·ç¿¡ ÇÑ °ÉÀ½ ÀüÁøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »ç¶÷ÀÌ µÇÀÚ´Â »ýÈ°½ÅÁ¶¸¦ °®°í ÁøÃëÀûÀÌ°í ¹Ì·¡ ÁöÇâÀûÀÎ »ç¶÷ÀÌ µÇ°íÀÚ ³ë·ÂÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. ÇູÇÏ°í µû¶æÇÑ °¡Á¤Àº Á¦°¡ °ÇÏ°í ´Ü´ÜÇÏ°Ô ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹öÆÀ¸ñÀÌ µÇ¾îÁÖ¾úÀ¸¸ç ÀÚÀ¯·Ó°Ô Á¦ ²ÞÀ» ÆîÄ¥ ¼ö ÀÖµµ·Ï °Ý·Á¿Í Áö¿øÀ» ¾Æ³¢Áö ¾ÊÀ¸¼Ì´ø ºÎ¸ð´ÔÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î ÀÏÂïºÎÅÍ Á¦ Àû¼º¿¡ ¸Â´Â ²ÞÀ» Å°¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
Á¦°Ô ÁÖ¾îÁø ÀÏÀº ²ö±â¿Í Ã¥ÀÓÀ» ´ÙÇØ ¿Ï¼öÇÏ´Â ¼º½ÇÇÔÀ» °®°í ÀÖ¾úÀ¸¸ç ÇÐâ½ÃÀýÀ̳ª °¡Á¤¿¡¼ ´Ã ¸ð¹üÀûÀ¸·Î »ýÈ°Çß°í, ģȷÂÀÌ °ÇÏ°í »ç±³¼ºµµ ÀÖ¾î ´Ã ÁÖÀ§¿¡ »ç¶÷ÀÌ ²÷ÀÌÁö ¾Ê´Â ¿ø¸¸ÇÑ Àΰ£°ü°è¸¦ À¯ÁöÇØ¿Ô½À´Ï´Ù.
¾î¸° ½ÃÀýºÎÅÍ °úÇко߿¡ ´ëÇØ °ü½É°ú Èï¹Ì¸¦ °®°í ÀÖ¾úÀ¸¸ç È£±â½ÉÀÌ °ÇÑ ÆíÀÌ¾î¼ Áý¿¡ ÀÖ´Â °¡ÀüÁ¦Ç°À» ¸ðÁ¶¸® Àå³°¨Ã³·³ °¡Áö°í ³î¸ç ¿£Áö´Ï¾î·Î½áÀÇ ÀÚÁúÀ» Å°¿ì±âµµ Çß½À´Ï´Ù. ÀÏÂï »çȸ·Î ³ª°¡ ±â¼ú·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ´Â ÀÎÀç°¡ µÇ°í½Í´Ù´Â ¹Ù¶÷À» °®°í Àú´Â Àι®°è °íµîÇб³ ´ë½Å ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î ÀüÀÚ°ø¾÷°íµîÇб³¿¡ ÀÔÇÐÇß½À´Ï´Ù. ÁßÇб³ ¼ºÀûÀÌ 30% À̳»¿©¾ß ÇÑ´Ù´Â Áö¿ø¿ä°Ç¿¡ Åë°úÇØ ½ÃÇèÀ» º¸¾ÒÀ¸¸ç »óÀ§ 10%³»¿¡ µé¸ç ¿ì¼öÇÑ ¼ºÀûÀ¸·Î °íµîÇб³¿¡ ÀÔÇÐÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ ¶§ºÎÅÍ Àú´Â ¿£Áö´Ï¾î·Î½áÀÇ ´É·Â°ú ÀÚÁúÀ» Å°¿ì´Âµ¥ ¿Á¤À» ½ñÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
°æ·Â»çÇ×
Àú´Â ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿¡ °øä·Î ÀÔ»çÇßÀ¸¸ç ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¼úºÎ¿¡¼ ¿£Áö´Ï¾î·Î½áÀÇ Ã¹ ¹ßÀ» ³»µó°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ°÷¿¡¼ Àú´Â FAB4 LINE, END-FABÀÇ Set-UpÀ» ´ã´çÇÏ¿´À¸¸ç ²÷ÀÓ¾ø´Â ¿¬±¸¿Í °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¸¹Àº ºÎºÐ¿¡¼ Upgrade¿Í Modify¸¦ ÇÏ¸ç ½ÇÀûÀ» ½×°í ´É·ÂÀ» ÀÎÁ¤ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ PLASMA ¹ß»ý ¹× Áø´Ü±â¼ú±³À°, LAM RESEARCH»çÀÇ TCP MAINTENANCE °úÁ¤ µî Á¦°Ô ºÎÁ·Çϰųª º¸¿ÏÇØ¾ß ÇÒ ºÎºÐµéÀº ´Ù¾çÇÑ ±³À° ÇÁ·Î±×·¥¿¡ Àû±Ø Âü¿©ÇØ Ã¤¿ì·Á°í ³ë·ÂÇß½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷ ÀæÀº »ç°í¸¦ ¸·±â À§ÇØ ¿¬±¸¸¦ ÇÏ´ø Áß¿¡ Àú´Â »ç°í¸¦ ¹Ì¿¬¿¡ ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Plasma Detector¸¦ °³¹ßÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ ÀÏ·Î ÀÎÇØ °³ÀÎÀûÀ¸·Î´Â Àڽۨ°ú Å« ¼ºÃë°¨À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸ç ´ëÇü »ç°í¸¦ ¹Ì¸® ¹æÁöÇÏ´Â °ø·Î¸¦ ¼¼¿ö ¸ð¹ü»ç¿ø ǥâÀ» ¹Þ±âµµ Çß½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Á÷ÀåÀ» ´Ù´Ï¸é¼ ´ëÇÐ ¿µ¾îÇаú¿¡ ÀÔÇÐÇØ ´Ê°Ô Çо÷¿¡ ¿Á¤À» ½ñ±âµµ ÇßÀ¸¸ç ÀÏ°ú °øºÎ ¾î´À °Í Çϳª ¼ÒȦÇÔ ¾øÀÌ ÃÖ¼±À» ´ÙÇØ ÁÁÀº ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ±âµµ Çß½À´Ï´Ù. Á¦ ¸ðµç °ÍÀ» °É°í Àü·ÂÀ» ´ÙÇØ ÀÏÇß´ø ¸¸Å ´«ºÎ½Å ¹ßÀüµµ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸ç ±×¸¸Å Á¦°Ô´Â ¼ÒÁßÇÑ Á÷ÀåÀ̾úÁö¸¸ °æ¿µ³À¸·Î ȸ»ç»ýÈ°À» À¯ÁöÇϱâ Èûµé¾îÁ® Åð»ç¸¦ °áÁ¤ÇÏ°Ô µÇ¾ú°í, Á¦ ´É·ÂÀ» ¾Æ±õ°Ô ¿©±ä °úÀå´ÔÀº ÇÑ ´Þ°£ Åð»ç󸮸¦ ¹Ì·ç¾úÀ» ¸¸Å ÀÎÁ¤¹Þ´Â Á÷Àå »ýÈ°À» ±×¸¸µÎ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
µÎ ¹ø° ȸ»ç¿¡¼ Àú´Â ¿ª½Ã Àåºñ»ç¾÷ºÎ¿¡ ¼Ò¼ÓµÇ¾î Àåºñ°³¹ß ¾÷¹«¸¦ ´ã´çÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Á¦°¡ ¸ÃÀº ÀÏÀº Photo Mask¿ë Dry Etcher(TCP¹æ½Ä)ÀÇ °³¹ßÀ̾úÀ¸¸ç ÀÏÀ» ÇÏ¸é¼ Hardware, Electrical ¹× Software ÀûÀÎ ¸¹Àº ¹®Á¦¸¦ °³¼±Çϴµ¥ ±â¿©Çϱ⵵ Çß½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ Àåºñ Á¦Á¶¿¡µµ Á÷Á¢ Âü¿©ÇØ ¼º°øÀûÀÎ Á¦ÀÛ¿¡ À̹ÙÁöÇß½À´Ï´Ù. ±×¸®°í »ï¼º Photo Mask Shop¿¡ Set-Up µÇ¾îÀÖ´Â ÀåºñÀÇ ¹®Á¦¹ß»ýÀ¸·Î ¿äûÀÌ ¿À¸é ´ã´ç ¿£Áö´Ï¾î Áß °¡Àå ½Å¼ÓÇÏ°í Á¤È®ÇÏ°Ô ¹®Á¦ÇØ°áÀ» ÇÑ´Ù¸ç »ï¼ºÃøÀ¸·ÎºÎÅÍ ´É·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ±âµµ Çß½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÚü ¼öÀͼºÀÇ ÀúÁ¶Çö»óÀÌ Áö¼ÓµÇ¸é¼ »ç¾÷ºÎ Á¤¸®·Î Åð»çÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Áö¿øµ¿±â ¹× Æ÷ºÎ
Àú´Â °íµîÇб³ ¶§ºÎÅÍ ±â¾÷À» À̲ô´Â ¿ª·® ÀÖ´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú´Ù´Â ²ÞÀ» À§ÇØ ¿Á¤°ú ÀþÀ½À» ½ñ¾Æ¿Ô½À´Ï´Ù. Á÷Àå »ýÈ°À» ÇÏ¸é¼ ´©±¸º¸´Ù ¿½ÉÈ÷ ³ë·ÂÇßÀ¸¸ç Àû±ØÀûÀÌ°í ´Éµ¿ÀûÀΠŵµ·Î ÃÖ°íÀÇ ÀÎÀç·Î Æò°¡¹Þ±â À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇß½À´Ï´Ù. ±×¸¸Å ±â¾÷¿¡ ±â¿©Çϱ⵵ ÇßÀ¸¸ç ½º½º·Î ÀںνÉÀ» °¡Áú ¸¸Å ½Ç·ÂÀ» Å°¿ì±âµµ Çß½À´Ï´Ù. ÀÌÁ¦´Â Á¦°¡ °¡Áø ¸ðµç ¿ª·®°ú ÀÏ¿¡ ´ëÇÑ ¿Á¤, Áö±ÝÀÇ ÀÚ¸®¿¡ ¸¸Á·ÇÏÁö ¾Ê´Â ½ÂºÎ¿å°ú µµÀüÀÇÁö¸¦ º¸´Ù Å« ¹«´ë¿¡¼ ÆîÃĺ¸°í ½Í½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ±Í»çÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ À§»óÀº Á¦°Ô »õ·Î¿î ¸ñÇ¥ÀǽÄÀ» °®°Ô ÇØÁÖ¾úÀ¸¸ç ±Í»ç¸¦ ÅëÇØ ±¹Á¦ÀûÀÎ °æÀï·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ°í, ¼¼°è¹«´ë·Î ÁøÃâÇÏ°íÀÚ ±Í»ç¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Á¦°¡ ±Í»çÀÇ ÀÏ¿øÀÌ µÈ´Ù¸é ¹«¾ùº¸´Ù ½Ç·Â¡±Çϳª·Î ÀÎÁ¤¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Â ÀÎÀç°¡ µÇµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¿À·£ Á÷Àå»ýÈ°À» ÅëÇØ ½×Àº ½Ç¹«´É·ÂÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ²÷ÀÓ¾øÀÌ µµÀüÇÏ°í ¼ºÃëÇϸç ÇÏ·ç°¡ ´Ù¸£°Ô ¹ßÀüÇÏ´Â ¸ð½ÀÀ» º¸¿©µå¸± °ÍÀÌ¸ç ²ÙÁØÇÑ Àڱⰳ¹ßÀ» ÅëÇØ ½Ã´ëÀÇ È帧À» ¸®µåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹ß ºü¸¥ ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÁÖÀÎÀǽÄÀ» °®°í ´Éµ¿ÀûÀ¸·Î ÀÏÇÒ °ÍÀÌ¸ç µ¿·áµé°ú Á¶È¸¦ ÀÌ·ï ÃÖ»óÀÇ ÆÀ¿÷À¸·Î ÃÖ°íÀÇ ¼º°ú¸¦ À̲ø¾î³¾ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú½À´Ï´Ù. Áö±ÝÀº Á¦°¡ ±Í»ç¶ó´Â ȯ°æÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏÁö¸¸ 10³â ÈÄ¿¡´Â ±Í»ç°¡ Àú¸¦ ÇÊ¿ä·Î Çϵµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.