ÀÚ±â¼Ò°³¼­ »ùÇÃ

  • Á¶È¸¼ö 1,627
  • À̸ÞÀϺ¸³»±â
    ÁÖ¼Òº¹»ç
    Æ®À§ÅÍ °øÀ¯
    ÆäÀ̽ººÏ °øÀ¯

(ÁÖ)Å×½º

[(ÁÖ)Å×½º] ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­

ÇÕ°Ý
ÀüÀÚ¡¤±â°è¡¤±â¼ú¡¤È­ÇС¤¿¬±¸°³¹ß ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿£Áö´Ï¾î
½ÅÀÔ 2023³â /10¿ù
1. (ÁÖ)Å×½º¿¡ Áö¿øÇÑ Áö¿øµ¿±â¿Í ÀÔ»ç ÈÄ ¸ñÇ¥¸¦ ¼­¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (ÃÖ¼Ò 300ÀÚ, ÃÖ´ë 1,000ÀÚ ÀԷ°¡´É)
[CVD Àåºñ ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» ÅëÇÑ Á÷¹« ¹æÇ⼺ ¼³Á¤]
ÇкΠ¿¬±¸»ý µ¿¾È, CVD °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¿¡ °üÇØ ¿¬±¸Çß½À´Ï´Ù.
CVD Àåºñ ³» ChamberÀÇ Áø°ø ¼º´É ÀúÇÏ·Î °©ÀÛ½º·´°Ô ¿¬±¸°¡ Áß´ÜµÈ ÀûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÈñ ÆÀÀº Áø°ø ÆßÇÁ, ¼¾¼­, Ar °¡½º ¹è°ü µîÀÇ H/W¸¦ Á÷Á¢ ºÐÇØ/Á¶¸³/Å×½ºÆ®Çß°í, Àåºñ ¿£Áö´Ï¾î¿Íµµ ¼ÒÅëÇØ ¹®Á¦¸¦ Á÷Á¢ ÇØ°áÇß½À´Ï´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, Áø°ø ÆßÇÁÀÇ ºÎÇ°µéÀ» »õ Á¦Ç°À¸·Î Á÷Á¢ ±³Ã¼Çß°í, Àåºñ ¼³¸í¼­¸¦ ÅëÇØ ¾Ð·Â ¼¾¼­¸¦ ¼öÆòÀ¸·Î Á¤»ó ¹èÄ¡ÇßÀ¸¸ç, IPA ¿ë¾×À» ¹è°ü¿¡ ¶³¾î¶ß·Á Chamber ³» Áø°ø »óÅÂÀÇ ¹®Á¦ ¿øÀÎÀ» ÆľÇÇÏ°í À̸¦ ÇØ°áÇß½À´Ï´Ù.
ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º¿Í Àåºñ ±¸¼ºÇ°µéÀ» ´õ Àß ÀÌÇØÇÏ°í ´Ù·ç°Ô µÆÀ¸¸ç, ÃÖÀûÈ­µÈ ¼³ºñ¸¦ °è¼ÓÇؼ­ À¯Áö/°ü¸®ÇÏ¿© ¿¬±¸ °á°ú¸¦ ±³³» °æÁø´ëȸ¿¡¼­ ¹ßÇ¥ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¡®Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ Á¤È®ÇÑ ÀÌÇØ°¡ ¶Ù¾î³­ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¾ç»êÇÑ´Ù¡¯´Â °ÍÀ» ±ú´Þ¾Ò´ø ÁÁÀº °æÇèÀ̾ú°í, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¿£Áö´Ï¾î·Î Á÷¹« ¹æÇ⼺À» Á¤Çß½À´Ï´Ù. ¾ÕÀ¸·Îµµ ²ÙÁØÇÑ Á÷¹« ¹æÇ⼺À» °¡Áö°í, TES¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

[AFM ¸Å´º¾ó Á¦ÀÛ : ¾÷¹« ½Å·Úµµ Çâ»ó]
¹Ú¸· ºÐ¼® Àåºñ¸¦ ½ÅÁßÇÏ°Ô ´Ù·ç°í, À̸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ ¼º´ÉÀ» °³¼±ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
AFM°ú °°Àº ¹Ú¸· ºÐ¼® Àåºñ´Â ¼¶¼¼ÇÏ°Ô µ¿ÀÛÇϱ⠶§¹®¿¡ °íÀåÀÌ Àæ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ÇкΠ¿¬±¸»ý ½ÃÀý, ±³¼ö´ÔÀº ÀúÈñ¿¡°Ô ´Üµ¶À¸·Î AFM ºÐ¼®À» ¸Ã±âÁö ¾Ê°í Ç×»ó Post Doctor¿Í ÇÔ²² ºÐ¼®À» ÁøÇàÇ϶ó°í Çϼ̽À´Ï´Ù. ±×·¯³ª ¿¬±¸ ÁøÇà¿¡ ºÒÆíÇÔÀÌ ÀÖ¾ú±â¿¡, Àú´Â ¸Å´º¾óÀ» Á÷Á¢ ¸¸µé¾î AFMÀ» ¿Ïº®ÇÏ°Ô ´Ù·ê ¼ö ÀÖ°Ô µÆ°í, ±³¼ö´ÔÀÇ ½Å·Ú¸¦ ¾ò¾î ¿¬±¸±â°£ µ¿¾È ÇÑ ¹øÀÇ °íÀå ¾øÀÌ ´Üµ¶À¸·Î AFM ºÐ¼® ¾÷¹«¸¦ ´ã´çÇß½À´Ï´Ù. TES¿¡ ÀÔ»çÇÑ ÈÄ¿¡µµ, ¿©·¯ °¡Áö ºÐ¼® ÀåºñµéÀ» ¿Ïº®ÇÏ°Ô ´Ù·ç°í, Á¤È®ÇÑ ¹Ú¸· ºÐ¼®À¸·Î ¶Ù¾î³­ ¼º´ÉÀÇ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â ÀÎÀç°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

2. ÇÐâ½ÃÀý ¹× ¼ºÀå °úÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¼­¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (ÃÖ¼Ò 300ÀÚ, ÃÖ´ë 1,000ÀÚ ÀԷ°¡´É)
[Àü°ø°ú¸ñ°ú ¿ÜºÎ ±³À°À» ÅëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ÀÔ¼º]
¡®µðÁöÅÐ ³í¸® ȸ·Î¡¯¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼¿¡ °ü½ÉÀ» °®°Ô µÆ½À´Ï´Ù. ÇϳªÀÇ ³í¸®È¸·Î¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ÃÖÃÊÀÇ ÄÄÇ»ÅÍ°¡ ź»ýÇß´Ù´Â Á¡ÀÌ Àλó ±í¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¡®¹ÝµµÃ¼ ¹× ³ª³ë °øÁ¤¡¯¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤µé°ú °¢ °øÁ¤¿¡¼­ÀÇ ¿ø¸® ¹× Ư¼ºÀ» °øºÎÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î ¹è¿ü´ø ¹ÝµµÃ¼°¡ ½ÇÁ¦ ¾î¶² ¹æ½ÄÀ¸·Î »ý»êµÇ´ÂÁö ¾Ë°Ô µÇ¾î Àç¹ÌÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. Èï¹Ì¸¦ °¡Áö°í °øºÎÇÏ´Ï ¹è¿î ³»¿ëÀ» ´õ Àß ÀÌÇØÇß°í, ÀÌ´Â ³ªÁß¿¡ ÇкΠ¿¬±¸»ýÀ¸·Î CVD °øÁ¤ ½Ç½ÀÀ» ÁøÇàÇÒ ¶§ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÆ½À´Ï´Ù.
±³¿Ü ¿Â¶óÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¿ª·® ±³À°°úÁ¤µµ ¼ö·áÇß½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âº» ¿ø¸®¿Í °øÁ¤, ±×¸®°í ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ü½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ½ÃÀÛºÎÅÍ ÇöÀç±îÁö, »ê¾÷ÀÇ Àü¹ÝÀû È帧À» ¾Ë°Ô µÇ¾î À¯ÀÍÇß½À´Ï´Ù.

[ÇкΠ¿¬±¸»ý : CVD ´ÜÀ§°øÁ¤ ÀÌÇØ ¹× ¾îÇÐ ´É·Â Çâ»ó]
¿¬±¸ÆÀ¿øµé°ú 26¹øÀÇ ³í¹® ½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ CVD ´ÜÀ§°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇصµ¸¦ Å°¿ü½À´Ï´Ù.
Ar ¹× O2 °¡½º¸¦ ÅëÇÑ ÇÕ¼º ¹ÝÀÀ, ±âÆÇ¿¡¼­ÀÇ ÇÙ »ý¼º ¹× ¼ºÀå¿¡ ´ëÇØ ÇнÀÇß½À´Ï´Ù. À̸¦ Åä´ë·Î ¿©·¯ °øÁ¤ Parameter¸¦ Á¶ÀýÇÏ¸ç °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇß½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¾î´Ò¸µ, °áÇÔ ¿£Áö´Ï¾î¸µ µî, ÇöÀç ¿¬±¸½Ç¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ ÁÖÁ¦ÀÇ ³í¹®µéµµ ÇÔ²² °øºÎÇß°í, Àû¿ëÀ» À§ÇØ ±â·ÏÇß½À´Ï´Ù. ¸¶Áö¸·À¸·Î PL intensity, Raman spectrum µîÀÇ ¿©·¯ °¡Áö ¹Ú¸· ºÐ¼®¹ý°ú ¿ø¸®¿¡ ´ëÇؼ­µµ ÇнÀÇßÀ¸¸ç, ¾î¶² ºÐ¼® Àåºñ¿Í ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇؼ­ ¿¬±¸ÀÇ Å¸´ç¼ºÀ» ÀÔÁõÇÏ´ÂÁö °£Á¢ÀûÀ¸·Î ¾Ë°Ô µÆ½À´Ï´Ù.
ÇÑÆí, ÇкΠ¿¬±¸»ýÀ» ÅëÇØ ¾îÇÐ ´É·Âµµ ´õ¿í Å°¿ü½À´Ï´Ù. 9°³¿ù µ¿¾È, °°Àº ÆÀ Post Doctor¿Í ¿µ¾î·Î ¼ÒÅëÇϸç ÇÔ²² ¿¬±¸Çß½À´Ï´Ù. ¼³ºñ ¹× °øÁ¤ º¯¼öÀÇ º¯°æ, ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ °èȹ µî, °¢ÀÚÀÇ Áö½Ä°ú °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î CVD °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¸¦ À§ÇØ ²÷ÀÓ¾øÀÌ Åä·ÐÇß½À´Ï´Ù. ºñ·Ï óÀ½¿¡´Â ¾î·Á¿üÁö¸¸, °è¼ÓÇؼ­ À̾߱âÇÏ´Ù º¸´Ï ¾îÇÐ ´É·ÂÀ» ´õ¿í Å°¿ï ¼ö ÀÖ¾ú°í, ¿µ¾î·Î ´ëÈ­ÇÏ´Â °Í¿¡ Èï¹Ì¸¦ °®°Ô µÆ½À´Ï´Ù.

3. âÁ¶ÀûÀÎ ¾ÆÀ̵ð¾î¸¦ ÅëÇØ ¹®Á¦¸¦ °³¼±Çß´ø °æÇè¿¡ ´ëÇØ ¼­¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (ÃÖ¼Ò 300ÀÚ, ÃÖ´ë 1,000ÀÚ ÀԷ°¡´É)
[ÇнÀ ¸ðµ¨ º¯°æÀ» ÅëÇÑ ¸Ó½Å·¯´× Á¤È®µµ Çâ»ó]
Google ColabÀ» »ç¿ëÇØ ÁÖº¯¿¡¼­ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Â µ¥ÀÌÅ͸¦ ¸Ó½Å·¯´×¿¡ Àû¿ëÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ® °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÁÖÁ¦´Â ÇöÁö dz¼Ó°ú ±â¾ÐÀ» ÅëÇØ ÆÄ°í(ÆĵµÀÇ ³ôÀÌ)¸¦ ¿¹ÃøÇÏ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ¼±Çü ȸ±Í, ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í, ´ÙÁß ºÐ·ù ¸ðµ¨ Áß, ÀÔ·Â º¯¼ö·Î °á°ú °ªÀ» ¿¹ÃøÇÏ´Â ¼±Çü ȸ±Í¸¦ ¼±ÅÃÇß½À´Ï´Ù.
±×·¯³ª ÇöÁö dz¼Ó°ú ±â¾Ð¸¸À¸·Î ¿¹ÃøÇÑ ÆÄ°íÀÇ Á¤È®µµ´Â 62%·Î, ¼±Çüȸ±Í ¸ðµ¨·Î´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜÇß½À´Ï´Ù. óÀ½ ÀúÈñ°¡ ÆÄ°í¸¦ ¿¹ÃøÇÏ·Á Çß´ø ÀÌÀ¯´Â »ç¶÷µéÀÌ ÆĵµÀÇ À§Çèµµ¸¦ ¹Ì¸® ¾Ë°í ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çϱâ À§ÇÔÀ̾ú½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ µÎ ÀÔ·Â º¯¼ö¸¸À¸·Î ¡®À§ÇèÇÑ ³¯¡¯°ú ¡®¾ÈÀüÇÑ ³¯¡¯À» ±¸ºÐÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í·Î ¸ðµ¨À» º¯°æÇß½À´Ï´Ù.
º¯°æ ÈÄ, ¿¹Ãø °á°ú°¡ ¸ðµÎ False·Î Ãâ·ÂµÇ´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ÀÔ·Â º¯¼ö °ªÀÌ º¯°æÇÑ ¸ðµ¨°ú ¸ÂÁö ¾Ê¾Æ Sigmoid ÇÔ¼ö °è»ê¿¡ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ÆÄ°í °ªÀ» À§Çè ³ôÀÌÀÎ 2.1 m¸¦ ±âÁØÀ¸·Î, ±× ÀÌ»óÀº 1(À§Çè), ÀÌÇÏ´Â 0(¾ÈÀü)À¸·Î ¼öÁ¤ÇØ Á¤È®µµ¸¦ 91%±îÁö Áõ°¡½ÃÄ×½À´Ï´Ù. Á¤È®ÇÑ ÇнÀ ¸ðµ¨ Àû¿ë°ú µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁ¤À» ÅëÇØ Á¤È®µµ ³ôÀº ÇÁ·Î±×·¥À» ±¸ÇöÇÏ¿© Á¤¸» »ÑµíÇß½À´Ï´Ù.

[BypassÄ¿ÆнÃÅ͸¦ ÅëÇÑ Àü·ù ¸®Çù®Á¦ °³¼±]
¡®PDÃæÀü±â È¿À² ÃøÁ¤¡¯ ¼³°è ÇÁ·ÎÁ§Æ®°¡ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¼¾¼­·Î Àü¾Ð/Àü·ù¸¦ ÃøÁ¤ÇØ È¿À²À» LCDÆгο¡ Ãâ·ÂÇÏ´Â ¼³°è¿´½À´Ï´Ù.
¸ÕÀú ¿ä±¸ Á¦Ç°ÀÇ ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°èÇß½À´Ï´Ù. ÃæÀü±â¸¦ ÀÔ·Â/Ãâ·Â´ÜÀ¸·Î ³ª´² ÃÑ 4°³ÀÇ Àü¾Ð/Àü·ù ¼¾¼­¸¦ ¿¬°áÇÏ°í, ¾ÆµÎÀ̳뿡 RMS, ÇÇ»óÀü·Â µîÀÇ °è»ê½ÄÀ» ÀÔ·ÂÇØ È¿À²À» Ãâ·ÂÇß½À´Ï´Ù.
´ÙÀ½À¸·Î ¾ÆµÎÀÌ³ë ¸ð´ÏÅ͸µÀ» ÅëÇØ È¸·ÎÀÇ Àü¾Ð/Àü·ù ÆÄÇüÀ» ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª DC´Ü Àü·ùÀÇ ¸®ÇÃÀÌ Å©´Ù´Â ¹®Á¦°¡ ÀÖ¾ú°í, ¼¾¼­, °á¼±, ³³¶«ÇÑ ºÎºÐÀ» Àü·Â°è¿Í ¿À½Ç·Î½ºÄÚÇÁ·Î Çϳª¾¿ Á¡°ËÇØ ¿øÀÎÀ» Ãâ·Â´Ü Àü·ù¼¾¼­¿¡¼­ ã¾Ò½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ¡®ÀüÀÚȸ·Î ÀÀ¿ë¡¯¿¡¼­ ¹è¿ü´ø BypassÄ¿ÆнÃÅ͸¦ ȸ·Î¿¡ °á¼±ÇØ Àü·ù ¸®ÇÃÀ» ¾à 17¹è ÀÌ»ó ÁÙ¿´½À´Ï´Ù.

4. º»ÀÎÀÌ ¼¼¿ü´ø °¡Àå µµÀüÀûÀÎ ÀÏ°ú ±×°ÍÀ» ¼ºÃëÇϱâ À§ÇØ ¾î¶°ÇÑ ³ë·ÂÀ» Çß´ÂÁö ¼­¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (ÃÖ¼Ò 300ÀÚ, ÃÖ´ë 1,000ÀÚ ÀԷ°¡´É)
[À½¿ø ¹ß¸Å : ¿­Á¤ÀûÀÎ µµÀü]
¡®À۰¿¡ óÀ½À¸·Î µµÀüÇØ ¡®À½¿ø ¹ß¸Å¡¯¶ó´Â ¸ñÇ¥¸¦ ¼¼¿ì°í, À̸¦ ´Þ¼ºÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
¡®¼î¹Ì´õ¸Ó´Ï¡¯¸¦ ÅëÇØ ÀÛ°î¿¡ ÀÔ¹®Çß½À´Ï´Ù. ·¦À» ÇÏ´Â ·¡ÆÛ º¸´Ù, ·¦À» À½¾ÇÀ¸·Î ±¸ÇöÇÏ´Â ÀÛ°î°¡°¡ ´õ ¸ÚÀÖ¾î º¸¿´½À´Ï´Ù.ÀÌ¿¡ ÀÛ°î¿¡ µµÀüÇÏ°Ô µÆ°í, ³»°¡ Á÷Á¢ ÀÛ°îÇÑ °îÀ» ¿ì¸®³ª¶ó ÃÖ°íÀÇ À½¿ø Ç÷§ÆûÀÎ ¡®¸á·Ð¡¯¿¡ ¹ß¸ÅÇÏ°Ú´Ù°í ¸ñÇ¥¸¦ ¼³Á¤Çß½À´Ï´Ù.

»õ·Î¿î ºÐ¾ßÁö¸¸ ¿­Á¤ÀûÀ¸·Î ÀÛ°îÀ» °øºÎÇß½À´Ï´Ù. ±º´ë¿¡¼­´Â Ã¥, À¯Æ©ºê µî, ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸ðµç °ÍÀ» È°¿ëÇØ À½¾ÇÀ» °øºÎÇß°í, ±ºÁ¾º´¿¡°Ô ¿äûÇÏ¿© ±³È¸¿¡¼­ ÇǾƳ븦 ²ÙÁØÈ÷ ¿¬½ÀÇß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ »ç·ÉºÎ ÇÕâ ´ëȸ¿¡¼­ ÇǾƳ븦 ¹ÝÁÖÇÏ¿© ÀÔ»óÇϱ⵵ Çß½À´Ï´Ù. Àü¿ª ÈÄ¿¡´Â ÀÛ°î ·¹½¼À» ¹ÞÀ¸¸ç ¸ÅÀÏ 8½Ã°£¾¿ °îÀ» ºÐ¼®ÇÏ°í ÀÛ°î ÇÁ·Î±×·¥(MIDI)À» ÀÍÇû½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ ½Ç·ÂÀ» ½×Àº Àú´Â ¡®Makers¡¯ ¾Ù¹ü Á¦ÀÛ µ¿¾Æ¸®¿¡ ÀÛ°î°¡·Î µé¾î°¥ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
±×·¯³ª ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ±×°ÍÀº ¹Ù·Î óÀ½ Á¢ÇÏ´Â À帣ÀÇ À½¾ÇÀ» ¸¸µé¾î¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ¿ì¼± ·¡ÆÛ·±½º °îµéÀ» ¸ð¾Æ ²÷ÀÓ¾øÀÌ µéÀ¸¸ç À̸¦ ºñ±³/ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. °¢ °î¿¡ »ç¿ëµÈ ¾Ç±â, ÆÐÅÏ, Â÷º°Á¡°ú °°Àº ¿©·¯ Ư¡µéÀ» ±â·ÏÇß½À´Ï´Ù. ¸¹Àº ½Ã°£À» ÅõÀÚÇÏ´Ï À帣ÀÇ ÀÌÇصµ¸¦ ´õ¿í Å°¿ï ¼ö ÀÖ¾ú°í, ¸¶Ä§³» ÀÛ³â 8¿ù 19ÀÏ, ¾à 4³âÀÇ ²öÁú±ä ³ë·Â ³¡¿¡ Á÷Á¢ ÀÛ°îÇÑ °îÀ» ¡®¸á·Ð¡¯¿¡ ¹ß¸ÅÇß½À´Ï´Ù.

ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ ¾î´À Á¤µµ·Î ³ë·ÂÇØ¾ß ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¹è¿ü½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ Àü°ø ÇÁ·ÎÁ§Æ®, ±³³» °æÁø´ëȸ µî ¿©·¯ È°µ¿À» Çß½À´Ï´Ù. ÇÁ·ÎÁ§Æ® µµÁß ¹®Á¦ ¹ß»ý, °øÁ¤ ½Ç½À, ³í¹® ½ºÅ͵ð µî, óÀ½ Á÷¸éÇÏ´Â Èûµç »óȲµéµµ ¸¹¾ÒÁö¸¸, 100ÀÌ ¾Æ´Ñ 120, 130ÀÇ ³ë·Â°ú ¿­Á¤À¸·Î È°µ¿µéÀ» ¼º°øÀûÀ¸·Î ³¡³¾ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. TES¿¡¼­ ±Ù¹«ÇÏ°Ô µÈ´Ù¸é, »õ·Î¿î »óȲ¿¡ Á÷¸éÇÒÁö¶óµµ ¿­Á¤ÀûÀ¸·Î ³ë·ÂÇÏ¿© ¼º°ú¸¦ ÀÌ·ï³»´Â TESÀÇ ÀÎÀç°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

5. º»ÀÎÀÌ ÇØ´ç Á÷¹«¿¡ ´ëÇØ ÀûÇÕÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ÀÌÀ¯¸¦ ¼­¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (ÃÖ¼Ò 300ÀÚ, ÃÖ´ë 1,000ÀÚ ÀԷ°¡´É)

[³í¸®Àû ºÐ¼® : CVD °øÁ¤ ¿¬±¸ ¼º°ú ´Þ¼º]
ÇкΠ¿¬±¸»ý µ¿¾È, CVD ¹æ½ÄÀ¸·Î ¡®´ÜÃþ *MoS2 ¹Ú¸· ÇÕ¼º ÃÖÀûÈ­¡¯¿¡ °üÇØ ¿¬±¸Çß½À´Ï´Ù. ¼ö½Ê ¹øÀÇ MoS2 ¹Ú¸· ÇÕ¼º ½ÇÇè°ú OM ¹× AFM ºÐ¼®À» ÅëÇØ °øÁ¤ Parameter¿¡ ´ëÇÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ ÀúÈñ ÆÀÀº Å©°Ô 4°¡Áö °øÁ¤ Parameter¸¦ Á¶ÀýÇØ ¿¬±¸ ¼º°ú¸¦ ´Þ¼ºÇß½À´Ï´Ù.

ù°, Ar °¡½ºÀÇ À¯·®ÀÔ´Ï´Ù. Ar À¯·®ÀÌ ÀÛÀ»¼ö·Ï ÇÙ»ý¼º ¹Ðµµ°¡ °¨¼ÒÇØ ¾ãÀº Çʸ§ÀÌ »ý±æ °Å¶ó ÆÇ´ÜÇØ, À¯·®À» 200sccm¿¡¼­ 100sccm±îÁö º¯È­½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ±× °á°ú ´ÙÃþÀÇ ¹Ú¸·À» ÀÌÁßÃþÀ¸·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
µÑ°, O2ÀÇ À¯·®ÀÔ´Ï´Ù. ÀúÈñ ÆÀÀÇ ¸ñÇ¥´Â ´ÜÃþ Çʸ§À̱⿡ ¹Ú¸·À» ´õ ¾ã°Ô ¸¸µé¾î¾ß Çß½À´Ï´Ù. »ê¼Ò´Â ¹Ú¸·À» ´õ ¾ã°Ô ¸¸µç´Ù´Â ³í¹®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Ar¿¡ O2¸¦ Ãß°¡ÇØ ±ú²ýÇÑ ´ÜÃþ ¹Ú¸·À» ¾ò¾ú½À´Ï´Ù.
¼Â°, ¹Ú¸·ÀÇ ¼ºÀå ½Ã°£ÀÔ´Ï´Ù. ÇöÀç±îÁö ¹Ú¸·ÀÇ °áÁ¤¸³ Å©±â´Â ¼ö¹é nm·Î ³Ê¹« À۾ұ⿡, Å©±â¸¦ ´õ Å°¿ö¾ß ¼ÒÀÚÀÇ Àç·á·Î »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇß½À´Ï´Ù. ¼ºÀå ½Ã°£À» ´Ã·Á°¡¸ç ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇß°í, °áÁ¤¸³ Å©±â°¡ ¼ö ¥ìm±îÁö Ä¿Áö´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß½À´Ï´Ù. ÇÑÆí, °è¼Ó ¼ºÀå ½Ã°£À» ´Ã¸®¸é °áÁ¤¸³ÀÌ ¼­·Î °ãÃÄ ÀÌÁßÃþ Çü¼ºÇÑ´Ù´Â °Íµµ ¹ß°ßÇß½À´Ï´Ù.
¸¶Áö¸·, Àü±¸Ã¼ÀÇ ¾çÀÔ´Ï´Ù. ´ÜÃþ Çʸ§À» ¾ò±â´Â ÇßÁö¸¸, ¿ÏÀüÈ÷ ¿¬¼ÓÀûÀÎ ¹Ú¸·ÀÌ ¾Æ´Ï¾ú±â¿¡, Àü±¸Ã¼ÀÇ ¾çÀ» Áõ°¡½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ÇÙ»ý¼º ¹Ðµµ°¡ Áõ°¡ÇÏ¿© ¹Ú¸·ÀÇ ºó °ø°£ÀÌ Ã¤¿öÁ³°í, º¸´Ù ¿¬¼ÓÀûÀÎ Çʸ§À» ¾ò¾ú½À´Ï´Ù. °áÁ¤¸³ÀÌ ´Ù¼Ò ÀÛ¾ÆÁ³Áö¸¸, À¯ÀǹÌÇÑ Å©±â¿´±â¿¡ Å©°Ô »ó°üÀÌ ¾ø¾ú½À´Ï´Ù.

ÀÌÈÄ ¡®°øÁ¤ Parameter¿Í ¹Ú¸· »çÀÌÀÇ °ü°è¼º¡¯¿¡ °üÇÑ ³í¹®À» ±³³» ÀâÁö¿¡ °ÔÀçÇß½À´Ï´Ù. ÀúÈñ°¡ µµÃâÇÑ °ü°è¼ºÀ¸·Î ÃÖÀûÀÇ ¹Ú¸·À» ¾ç»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Å« Àǹ̰¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ³í¸®Àû ¹Ú¸· ºÐ¼®À» ÅëÇØ ¶Ù¾î³­ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

*MoS2 : Mo(¸ô¸®ºêµ§)¿Í S(Ȳ)·Î ±¸¼ºµÈ ¹«±â È­ÇÕ¹°

ÀÌÀü ´ÙÀ½
¸ñ·Ï

±â¾÷Á¤º¸ ´õº¸±â

  • ¼³¸³ÀÏ
    2002³â 09¿ù 19ÀÏ
  • ±â¾÷±Ô¸ð
    Áß°ß±â¾÷ (»ç¿ø¼ö 442¸í)
  • ¾÷Á¾
    ±â°è¡¤Á¶¼±¡¤ÀÚµ¿Â÷¡¤¿î¼ÛÀåºñ
  • º¹¸®ÈÄ»ý
    ÁÖ5Àϱٹ«, ¿¬Â÷, °æÁ¶ÈÞ°¡, ⸳ÀÏÈÞ¹«, ±¹¹Î¿¬±Ý, ÀǷẸÇè, »êÀ纸Çè, °í¿ëº¸Çè, ÈÞ¾ç...
    • ÁÖ5Àϱٹ«, ¿¬Â÷, °æÁ¶ÈÞ°¡, ⸳ÀÏÈÞ¹«
    • ±¹¹Î¿¬±Ý, ÀǷẸÇè, »êÀ纸Çè, °í¿ëº¸Çè
    • ÈÞ¾ç½Ã¼³
    • ¿ì¼ö»ç¿øÆ÷»ó, ÅðÁ÷¿¬±Ý
    • ±¸³»½Ä´ç, ±â¼÷»ç, Á÷¿ø´ëÃâ, ´ëÇÐÇÐÀÚ±ÝÁö¿ø
  • ÁÖ¼Ò
    (17162) °æ±âµµ ¿ëÀνà óÀα¸ ¾çÁö¸é Áߺδë·Î 2374-36 (Á¦Àϸ®)