<div id="file_info_box"><div id="detail_info"><link type="text/css" rel="stylesheet" href="//i.incru.it/ui/static/css/people/view_temp.css"><div class="peopleview_temp peopleview_temp1"><div class="temp_header"><h1 class="h1">[»ï¼ºÀüÀÚ] ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼</h1><span class="state-icon">ÇÕ°Ý</span></div><div class="temp_header_util"><span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤±â°è¡¤±â¼ú¡¤ÈÇС¤¿¬±¸°³¹ß</span> <span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼</span> <span class="key_text">¹ÝµµÃ¼</span><br><span class="key_text">½ÅÀÔ</span> <span class="key_text">2024³â /3¿ù</span></div><div class="temp_contents"><div class="temp_box"><span class="temp_txt">1. »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ.
[¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀ» ¼±µµÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î]
À۳⠻ZÀüÀÚ´Â ÇöÁ¸ ÃÖ´ë ¿ë·® D·¥ÀÎ 32Gb DDR5¸¦ ¼±º¸À̸ç, µ¶º¸ÀûÀÎ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú·ÂÀ» Áõ¸íÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ ¼º°úÀÇ ¹è°æ¿¡´Â 12nm ¼±Æø ±¸ÇöÀ» À§ÇØ EUV °øÁ¤À» ¾Õ¼ Àû¿ëÇÑ ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎÀÇ µµÀüÁ¤½ÅÀÌ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌó·³ °í¿ë·® ¸Þ¸ð¸®¸¦ À§ÇÑ ¼ÒÀÚÀÇ scale down°ú °øÁ¤¿¡ ³¡¾øÀÌ µµÀüÇÏ´Â ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎ¿¡ ¸Å·ÂÀ» ´À²¼°í, ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇÏ´Â D·¥ °³¹ßÀ» Ã¥ÀÓÁö´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ ¼¼¿ü½À´Ï´Ù.
¸ñÇ¥¿¡ °É¸ÂÀº ÀÎÀç°¡ µÇ°íÀÚ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ D·¥ ¿¬±¸ °æÇè°ú PVD, Æ÷Åä, ¿¡Äª °øÁ¤ÀÇ ½Ç¹« ¿ª·®À» ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ µ¿·á¿Í ÇÔ²² CAD¸¦ ÅëÇØ ±¸Á¶¸¦ ¼³°èÇϸç Å°¿î Ã¥ÀÓ°¨°ú ¼ÒÅë´É·ÂÀº, ÇâÈÄ ´ÜÀ§±â¼úÆÀ°ú Çù·ÂÇÏ´Â ÀÏ¿¡ Å« µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎÀÇ ÀÏ¿øÀÌ µÇ¾î, Æò¸é ±¸Á¶¸¦ ³Ñ¾î 3D·Î ³ª¾Æ°¥ D·¥ÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ±¸ÃàÇÏ´Â °ÍÀÌ ²ÞÀÔ´Ï´Ù. ´ÜÀ§±â¼úÆÀ°ú Àû±ØÀûÀ¸·Î Çù·ÂÇÏ¿© 3D¿¡ °É¸ÂÀº ÁõÂø ·¹½ÃÇǸ¦ °³¹ßÇÏ°í °¢ °øÁ¤ °£ÀÇ Á¶È¸¦ ÀÌ·ç°Ú½À´Ï´Ù. ´õºÒ¾î ÀûÃþ ±¸Á¶¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¹°ÁúÀ» ¿¬±¸Çϱâ À§ÇØ Â÷¼¼´ë D·¥ ¼ÒÀç¿¡ ´ëÇÑ ³í¹®À» ¸ÅÀÏ ²ÙÁØÈ÷ °øºÎÇϸç, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹Ì·¡¿¡µµ D·¥ Á¡À¯À² 1À§¸¦ À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
2. º»ÀÎÀÇ ¼ºÀå°úÁ¤À» °£·«È÷ ±â¼úÇ쵂 ÇöÀçÀÇ Àڽſ¡°Ô °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç°Ç, Àι° µîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ±â¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (¡ØÀÛÇ°¼Ó °¡»óÀι°µµ °¡´É)
[¸Þ¸ð¸®¼ÒÀÚ¿¡ ´ëÇÑ °ü½É]
ÇкΠ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ °ÀÇ¿¡¼ IGZO¿Í °°Àº Â÷¼¼´ë ¹°ÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¸Þ¸ð¸®¼ÒÀÚ¸¦ Èï¹Ì·Ó°Ô °øºÎÇϸç, ONÀúÇ×°ú ½ºÀ§Äª ¼Óµµ°¡ Àü·Â ¹× ¸Þ¸ð¸® ¼Õ½Ç¿¡ ÁÖ´Â ¿µÇâÀ» ÀÌÇØÇß½À´Ï´Ù. À̸¦ °è±â·Î ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡¼ Â÷¼¼´ë ¼ÒÀç MoS2 ±â¹Ý Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ Á¦ÀÛÇØ Ã¤³Î ¹æÇâ¿¡ µû¸¥ ½ºÀ§Äª ¼Óµµ¿Í ONÀúÇ×À» ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. cÃàÀ» µû¶ó ¹èÇâµÈ ä³Î¿¡¼ °¢°¢ 5, 100¹è ³·Àº ONÀúÇ×°ú ½ºÀ§Äª ¼Óµµ¸¦ º¸Àδٴ °ÍÀ» Áõ¸íÇϸç ÃÖ¿ì¼ö»óÀ» ¹Þ´Â Äè°Å¸¦ ÀÌ·ï³Â½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¸Þ¸ð¸®¼ÒÀÚ¿¡ ´ëÇÑ ÀÌ·ÐÁö½ÄÀ» ½ÇÇèÀû °á°ú·Î µµÃâÇÏ´Â ¿ª·®À» Å°¿ü½À´Ï´Ù.
´ëÇпø¿¡¼´Â Â÷¼¼´ë DRAMÀÇ ±¸Á¶¿Í °øÁ¤À» °³¼±ÇØ ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½ÃÅ°¸ç ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ¼³°èÀÇ ½Ç¹«´É·ÂÀ» ±æ·¶½À´Ï´Ù. a-IGZO ¹Ú¸·ÀÇ ÀúÇ× ½ºÀ§ÄªÀ» È°¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë DRAM¸¦ ¿¬±¸Çϸç ä³Î ³»ºÎ gap¿¡ ÀÇÇÑ ¼Óµµ °¨¼Ò ¹®Á¦¸¦ ¹ß°ßÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ CVD °øÁ¤À» °³¼±ÇØ °áÁ¤ Å©±â¸¦ Áõ°¡½ÃÄÑ gapÀÌ ¾ø´Â ´Ü°áÁ¤ ä³ÎÀ» ¸¸µé¾ú½À´Ï´Ù. ¼±Ç࿬±¸¸¦ ÅëÇØ 850µµ ºÎ±Ù¿¡¼ °áÁ¤ Å©±â°¡ Ä¿Áö´Â Çö»óÀÌ ¹ß»ýµÈ´Ù´Â °ÍÀ» ¹è¿ö, ÇØ´ç ¿ÂµµÀÇ ÇÕ¼º ½Ã°£À» ´Ã·Á ´Ü°áÁ¤ ¹Ú¸·À» Á¦ÀÛÇß½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ CAD¸¦ ÅëÇØ °áÁ¤ Å©±â¿¡ ¸Â´Â ¼±ÆøÀ» ¼³°èÇÏ¿©, OFFÀúÇ×°ú ½ºÀ§Äª ¼Óµµ ¸ðµÎ 500¹è °³¼±ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. À̸¦ ÅëÇØ DRAMÀÇ ´©¼³Àü·ù¿Í ¼Óµµ¸¦ È¿°úÀûÀ¸·Î Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú°í, °øµ¿ÀúÀÚ·Î ³í¹®À» °³Á¦ÇÏ´Â ¼º°ú¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
ÀÌ °æÇèÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î °³¹ßÁßÀÎ DRAMÀÇ ¹®Á¦Á¡À» ÆľÇÇÏ¿© ¼Óµµ¿Í Àü·Â¼Õ½ÇÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¾ÆÀ̵ð¾î¸¦ Á¦¾ÈÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
[²÷ÀÓ¾ø´Â ¼ÒÅë, º¯ÈµÈ Á¦¾È¼]
Àû±ØÀûÀÎ ¼ÒÅëÀ¸·Î Á¦¾È¼¸¦ ÀÛ¼ºÇØ ¿¬°£ 6õ¸¸¿ø´ë ±Ô¸ðÀÇ ¿¬±¸°úÁ¦¸¦ ¼öÁÖÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ç½Ã ´Ù¸¥ Á¦¾È¼ ÀÛ¼ºÀ» ¸¶Ä¡°í ÅõÀÔµÇ¾î ³²Àº ±âÇÑÀÌ ´Ü 10ÀÏ¿¡ ºÒ°úÇØ ºÐ¾÷À¸·Î Á¦¾È¼¸¦ ÀÛ¼ºÇÏ°íÀÚ Çß½À´Ï´Ù. ¡®IGZO ±â¹Ý ±¤¼¾¼ ¿¬±¸¡¯¸¦ ±âȹÇß°í Àú´Â ¿¬±¸°èȹÀÇ ¼³°è¿Í Á¦¾È¼ ÃÑ°ýÀ» ´ã´çÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ´Ù¸¥ ¿¬±¸¿øµéÀº ½Ã°¢ ÀÚ·áÀÇ ÀÛ¼º°ú Á¦¾È¼ ÀϺΠÀÛ¼ºÀ» ´ã´çÇϸç Çù¾÷ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Á¦ÇÑÀûÀÎ Áغñ ±â°£À¸·Î, ¼ÒÅ뺸´Ù °¢ÀÚÀÇ ¾÷¹«¿¡ ÁýÁßÇØ ³»¿ëÀÌ ÅëÀϵÇÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù. À̸¦ ÇØ°áÇÏ°íÀÚ, °øÀ¯ µå¶óÀ̺꿡¼ ÀÛ¾÷ÇÏ¿© ¼·ÎÀÇ ÀÛ¾÷³»¿ëÀ» ½Ç½Ã°£À¸·Î Á¡°ËÇÒ °ÍÀ» Á¦¾ÈÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÃÑ°ý ¾÷¹« ´ã´çÀ¸·Î¼ ¼ö½Ã·Î ³»¿ëÀ» Á¡°ËÇÏ¸ç ³»¿ëÀ» °³¼±ÇØ ³ª°¬½À´Ï´Ù. ÆÀ¿øµéµµ ¹Ì¸® µå¶óÀ̺꿡¼ ÀÛ¾÷ÇÑ ³»¿ëÀ» Á¡°ËÇÑ ´öºÐ¿¡ ¸ÅÀÏ ÁøÇàµÇ´Â ¹ÌÆÿ¡¼ Àû±ØÀûÀ¸·Î ¼ÒÅë¿¡ Âü¿©ÇÏ¿´´Ï´Ù. ÆÀ¿øµé°ú ¼öÁ¤ÇÑ ÀڷḦ ¸ÅÀÏ ±³¼ö´Ô²² º¸°íµå¸®¸ç, ¿Ã¹Ù¸£°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´ÂÁö Á¡°Ë ¹Þ¾Ò½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤µéÀ» ÅëÇØ ¾÷¹« ºÐ´ãÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î ÁøÇàÇϱâ À§Çؼ´Â ÁÖ±âÀûÀÎ ¼ÒÅëÀÌ ÇÔ²² ÀÌ·ïÁ®¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ¹è¿ü½À´Ï´Ù.
±× °á°ú, ±âÇÑ ³»¿¡ ÃÑ 20ÀåÀÇ Á¦¾È¼¸¦ ¿Ï¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ½Ã°£ ´ëºñ ¾÷¹«·®ÀÌ ¹æ´ëÇßÁö¸¸, »çÀü ÀÛ¾÷ ³»¿ë °øÀ¯¸¦ ÅëÇØ Àû±ØÀûÀΠȸÀǸ¦ ÀÌ·é ´öºÐ¿¡ °úÁ¦ ¼öÁÖ¶ó´Â ¼º°ú·Î À̾îÁ³´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÔ»ç ÈÄ ÆÀ ³»ÀÇ ¼ÒÅë°ú Çù¾÷À» À̲ø¾î °¡¸ç ÆÀ¿øµé°ú ÇÔ²² ¿ì¼öÇÑ ¸Þ¸ð¸® Á¦Ç°À» ¼³°èÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.
3. ÃÖ±Ù »çȸÀ̽´ Áß Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢µÇ´Â ÇÑ°¡Áö¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ÀÌ¿¡ °üÇÑ ÀÚ½ÅÀÇ °ßÇظ¦ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
[¹ÝµµÃ¼ Net Zero¸¦ À§ÇÑ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ³ë·Â:CF °¡½º °¨Ãà]
±âÈÄ À§±â¸¦ ºñ·ÔÇÑ È¯°æÆı«°¡ ½É°¢ÇØÁö´Â Çö½ÃÁ¡¿¡¼ ±â¾÷µéÀÇ Ä£È¯°æ ESG °æ¿µÀº ¼±ÅÃÀÌ ¾Æ´Ñ Çʼö°¡ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ģȯ°æ ESG °æ¿µÀÇ ÇÙ½ÉÀº ¿Â½Ç°¡½º °¨¼Ò·Î, ¸¹Àº ±â¾÷Àº 6´ë ¿Â½Ç°¡½º ¼ø ¹èÃâ·®À» 0À¸·Î ¸¸µå´Â ¡®Net Zero¡¯¸¦ À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è ¶ÇÇÑ Net Zero¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â °í°´»çµéÀÌ Áõ°¡ÇÏ¿© ¿Â½Ç°¡½º °¨Ãà¿¡ Å« °ü½ÉÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Â »óȲÀÔ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Net Zero¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§Çؼ´Â °øÁ¤¿¡¼ ¹èÃâµÇ´Â CF °è¿ °¡½º¸¦ °¨ÃàÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. CF °è¿ÀÇ °¡½º´Â Etching, CVD °øÁ¤ ´Ü°è¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ°í ƯÈ÷, ¿ì¼öÇÑ Á¾È¾ºñ¸¦ °¡Á® ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏ ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ Etching °øÁ¤¿¡¼ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸, CF °è¿ °¡½º´Â ÀÌ»êÈź¼Òº¸´Ù ³ôÀº ¿Â³È Áö¼ö¸¦ °¡Áø °¡½º·Î Áö±¸ ȯ°æ¿¡ ¸Å¿ì Ä¡¸íÀûÀ̱⠶§¹®¿¡ ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ´ë¾ÈÀÌ ÇÊ¿äÇÑ »óȲÀÔ´Ï´Ù.
À̸¦ À§ÇØ ´Ü±âÀûÀ¸·Î´Â °øÁ¤ ´Ü°è¸¦ ´Ü¼øÈÇÏ¿© »ç¿ë·® ÀÚü¸¦ ÁÙÀÌ´Â ¹æ¹ýÀÌ È¿°úÀûÀÏ °ÍÀÔ´Ï´Ù. °øÁ¤ °¢ ´Ü°èÀÇ ¼ö¸¹Àº Etching ½Ã°£À» °£¼ÒÈÇÏ°í, CVD °øÁ¤ÀÇ ¼¼Á¤½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÈÇÑ ·¹½ÃÇǸ¦ ¼³°èÇÏ¿© CF°è¿ °¡½ºÀÇ ¹èÃâÀ» ÃÖ¼ÒÈÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Àå±âÀûÀ¸·Î´Â CF °è¿ °¡½º¸¦ ¿Â³ÈÁö¼ö°¡ ³·Àº °¡½º·Î ´ëüÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. »ý»ê·®À» °í·ÁÇÏ¸é ´çÀå ´ëüÇÒ ¼ö´Â ¾ø°ÚÁö¸¸, ´ëü °¡½º ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ´ëÆø È®´ëÇØ ¹Ì·¡¿¡´Â ¸ðµç °¡½º¸¦ ģȯ°æ°¡½º·Î ´ëüÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù. À̸¦ À§ÇØ Á¤ºÎ Â÷¿ø¿¡¼µµ ±â¾÷°ú ¿¬±¸¼Ò¿¡ ´ëü°¡½º ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¿øÇÑ´Ù¸é ¿Â½Ç°¡½º °¨Ãà¿¡ Å« µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ģȯ°æ Etching °¡½º °³¹ß°ú ÇÔ²² ¿Â½Ç°¡½º ºÐÇØ ¹èÃâÀ» À§ÇÑ ½ºÅ©·¯¹ö Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ´Â µî ¼ø ¹èÃâ·® °¨¼Ò¸¦ À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î ´Ü¼øÈµÈ °øÁ¤ ·¹½ÃÇǸ¦ ¼³°èÇÏ¿© Etching ¹× CVD °øÁ¤À» °£¼ÒÈÇÑ´Ù¸é CF °¡½º »ç¿ë·® °¨Ãà¿¡ Å©°Ô ±â¿©¸¦ ÇÒ °ÍÀ̶ó »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
4. Áö¿øÇÑ Á÷¹« °ü·Ã º»ÀÎÀÌ °®°í ÀÖ´Â Àü¹®Áö½Ä/°æÇè(½ÉÈÀü°ø, ÇÁ·ÎÁ§Æ®, ³í¹®, °ø¸ðÀü µî)À» ÀÛ¼ºÇÏ°í, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î º»ÀÎÀÌ Áö¿ø Á÷¹«¿¡ ÀûÇÕÇÑ »çÀ¯¸¦ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¼¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
[´Ù¾çÇÑ Àåºñ¸¦ ÅëÇÑ ¼ÒÀç ºÐ¼® °æÇè]
½ºÆÛÅ͸µÀ» ÅëÇØ ÇÕ¼ºµÈ ¹Ú¸·ÀÇ ±âÆÇ ¿Âµµ¿¡ ÀÇÇÑ ¹°¼º º¯È¸¦ ¿¬±¸Çϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¼®À» ÅëÇØ °áÁ¤±¸Á¶¸¦ È®ÀÎÇß½À´Ï´Ù. ±âÆǿµµÀÇ º¯È¿¡ ÀÇÇØ ¿øÀÚÀÇ °áÇÕ ±æÀÌ°¡ ´ÜÃàµÇ¾î °áÇÕ ¿¡³ÊÁö°¡ Áõ°¡ÇßÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ FT-IR¸¦ ÅëÇØ ±âÆÇ ¿Âµµº° °áÇÕ ¿¡³ÊÁö¸¦ °üÃøÇß°í, reference¿Í ºñ±³ÇØ ¸í¹éÇÑ ÇÇÅ©À§Ä¡ÀÇ À̵¿À» È®ÀÎÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ XRD, XPS ºÐ¼®À» ÅëÇØ ¹Ú¸·ÀÇ ³»ºÎ ¿¡³ÊÁö¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´À¸¸ç, °¨¼ÒµÈ ¿¡³ÊÁö¸¦ ÅëÇØ ±âÆǿµµ º¯È¿¡ ÀÇÇÑ °áÁ¤±¸Á¶ÀÇ º¯È¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
[Á¶°Ç ÃÖÀûȸ¦ ÅëÇÑ ¼º´É °³¼± °æÇè]
´ëÇпø¿¡¼ IGZO ±â¹Ý Â÷¼¼´ë DRAM¸¦ ¿¬±¸ÇÏ¸ç ½ºÆÛÅ͸µ °øÁ¤À» °³¼±ÇÏ¿© ¸Þ¸ð¸® ¼º´ÉÀ» Çâ»óÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹Ú¸·ÀÇ ¹«¼öÇÑ °áÇÔÀ¸·Î ÀÎÇØ ¸Þ¸ð¸® Ư¼ºÀÌ ÀúÇÏµÇ¾î ´©¼³Àü·ù°¡ Å©°Ô Áõ°¡ÇÏ´Â ¹®Á¦¸¦ ¹ß°ßÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ ½ºÆÛÅ͸µ °øÁ¤ Á¶°ÇÀ» °³¼±ÇÏ¿© grainÀÇ Å©±â¸¦ Áõ°¡½ÃÄÑ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°íÀÚ Çß½À´Ï´Ù. ¼±Ç࿬±¸ ºÐ¼®À» ÅëÇØ ÇÕ¼º½Ã ƯÁ¤ÇÑ ÆÄ¿ö ºÎ±Ù¿¡¼ ¾×ü»óÀÇ ¹æ¿ïµéÀÌ ÇÕÃÄÁ® ÇϳªÀÇ °áÁ¤ÀÌ µÈ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë°ÔµÇ¾ú½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ RF power¸¦ 50W·Î °íÁ¤ÇÏ°í, ÇÕ¼º½Ã°£°ú ¼Ò½ºÀÇ ¾çÀ» ´Ã·Á °áÁ¤ÀÌ ÃæºÐÈ÷ Ä¿Áú ¼ö ÀÖµµ·Ï Çß½À´Ï´Ù. °á°úÀûÀ¸·Î ¾à 100¹è Áõ°¡ÇÑ grain Å©±â¿Í ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ¸¦ ±¸ÇöÇÏ¿© ³í¹®À» ÀÛ¼ºÇÏ¿´°í ¿¬±¸°á°ú¸¦ SCI±Þ Àú³Î¿¡ °³Á¦ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
´Ù¾çÇÑ ºÐ¼®±â¹ýÀ¸·Î ¼ÒÀçÀÇ ¹°¼ºÀ» È®ÀÎÇÏ´Â ¿ª·®À» Å°¿ì°í, ¹®Á¦ÀÇ ÇÙ½ÉÀ» ÆľÇÇÏ°í ¿øÀÎÀ» ºÐ¼®ÇÑ °æÇèÀ» ÅëÇØ ÀÔ»ç ÈÄ Çõ½ÅÀûÀÎ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ°³¹ß¿¡ µµÀüÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
</span></div></div></div></div></div>