<div id="file_info_box"><div id="detail_info"><link type="text/css" rel="stylesheet" href="//i.incru.it/ui/static/css/people/view_temp.css"><div class="peopleview_temp peopleview_temp1"><div class="temp_header"><h1 class="h1">[»ï¼ºÀüÀÚ] ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼</h1><span class="state-icon">ÇÕ°Ý</span></div><div class="temp_header_util"><span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤±â°è¡¤±â¼ú¡¤ÈÇС¤¿¬±¸°³¹ß</span> <span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼</span> <span class="key_text">°øÁ¤¿£Áö´Ï¾î</span><br><span class="key_text">½ÅÀÔ</span> <span class="key_text">2023³â /9¿ù</span></div><div class="temp_contents"><div class="temp_box"><span class="temp_txt">1.»ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ. (700ÀÚ)
¡®È¸»ç¿Í ³ªÀÇ µ¿¹Ý¼ºÀ塯ÀÌ ÀúÀÇ °¡Àå Å« ¼±Åà ±âÁØÀ̾ú½À´Ï´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÎÀç Á¦ÀÏÀÇ ÇÙ½É °¡Ä¡·Î ÀÓÁ÷¿øÀÇ µµÀüÀ» Á¸ÁßÇØÁÖ¸ç ¿Á¤ÀÌ ÀÖ´Ù¸é MBA, »êÇÐ ¿¬°è ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿Í °°Àº ÀÚ±â°è¹ßÀÇ ±âȸ¸¦ ÅëÇØ Àü¹®¼ºÀ» ½ÉȽÃų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Foundry°¡ ¸Å³â 20%ÀÌ»ó ¼ºÀåÇÏ´Â ºñ°áÀº ¼·ÎÀÇ ¹ßÀü °¡´É¼ºÀ» ¹Ï´Â ½Å·Ú·ÎºÎÅÍ ¿Â´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ½Å·Ú¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Á¦°¡ °¡Áø ¹ÝµµÃ¼ ¿Á¤À» ´õÇØ 2nm ¾ç»ê¿¡ À̹ÙÁöÇÏ´Â °øÁ¤±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ±â À§ÇØ Áö¿øÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
[E±â¼úÆÀ: profile°³¼± Àü¹® ¿£Áö´Ï¾î]
¹ÝµµÃ¼ engineer°¡ µÇ±â À§ÇØ ¡®¹ÝµµÃ¼ ÈÇаøÇС¯ °ú ¡®¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¡¯ ¼ö¾÷À» ÅëÇØ ¼ÒÀÚ¿Í ´ÜÀ§ °øÁ¤ÀÇ ±âÃʸ¦ ´ÙÁö°í 5°³ÀÇ NCS°ÀÇ¿Í °øÁ¤ ½Ç½À ¹× ºÐ¼®À» ÅëÇØ Áö½ÄÀ» ½ÉȽÃÄ×½À´Ï´Ù. MOSFETÀÇ I-V curve¸¦ ÃøÁ¤Çغ¸¸ç data¸¦ ÅëÇØ ºÒ·®À» ÆÇ´Ü, parameter¸¦ ÃßÃâÇÏ°í °øÁ¤º°·Î ¿øÀÎÀ» ÃßÁ¤ÇÏ°í °³¼± ¹æ¾ÈÀ» µµÃâÇغ¸¸ç °øÁ¤±â¼ú ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ¿ª·®À» ½×¾Ò½À´Ï´Ù.
ÀÔ»ç ÈÄ HARC etching¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â pulsed plasma¸¦ »ç¿ëÇÑ °øÁ¤ÀÇ parameter¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© clogging, bowingÀ» °³¼±ÇÏ°í ACI CD¸¦ spec line¿¡ ³Ö¾î ¼öÀ² Áõ°¡¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.
15³â ÈÄ¿¡´Â Áö±ÝÀÇ Àúó·³ Etching°øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î¸¦ ²Þ²Ù´Â ÀÎÀçµéÀ» ±³À°Çϸç ÇÔ²² »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ À̲ø°í ½Í½À´Ï´Ù.
2. º»ÀÎÀÇ ¼ºÀå°úÁ¤À» °£·«È÷ ±â¼úÇ쵂 ÇöÀçÀÇ Àڽſ¡°Ô °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç°Ç, Àι° µîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ±â¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1500ÀÚ)
[n³â°£ ´ÙÁ®Áø ¹ÝµµÃ¼ ¿Á¤]
25³â µ¿¾È °°Àº ȸ»ç¿¡ ´Ù´Ï½Å ¾Æ¹öÁö¸¦ º¸¸ç ÀÚ½ÅÀÌ ÁÁ¾ÆÇÏ°í ¼ºÃë°¨À» ´À³¢´Â ÀÏÀ» ÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ÀÌ·± ¾Æ¹öÁöÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Á¦°¡ Àß ÇÒ ¼ö ÀÖ°í ÁÁ¾ÆÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ¸¹Àº ³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ¸ç °ü·Ã ¿ª·®À» ½×À» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
´ëÇб³ 3Çг⠶§ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 8´ë °øÁ¤ ¿ä¾à ¿µ»óÀ» Á¢ÇÏ°í È£±â½ÉÀÌ »ý°Ü »ï¼ºÀüÀÚ ¿£Áö´Ï¾î¿¡ °üÇÑ ¿µ»óµéµµ ã¾Æº¸¾Ò½À´Ï´Ù. À¯±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÈ º¹ÀâÇÑ °øÁ¤ °úÁ¤µé¿¡ °ü½ÉÀÌ »ý±â°í ÀÚ¿¬½º·´°Ô ÀÌ·ÐÀ» ¼³¸íÇØÁÖ´Â ¿µ»óµéÀ» ã¾Æº¸°í °øÁ¤º° Ư¡µéÀ» ³ëÆ®¿¡ Á¤¸®ÇÏ¸ç °øÁ¤¿¡ °üÇØ °øºÎÇϱ⠽ÃÀÛÇß½À´Ï´Ù. Áö±Ý±îÁö ´ëÇб³¿¡¼ ¹è¿ì´ø ³»¿ëµé°ú´Â ´Ù¸£°Ô Áö½ÄÀ» ¾òÀ» ¶§¸¶´Ù Áñ°Å¿òÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ÀÌ·± Áñ°Å¿ò°ú ¿Á¤Àº 3Çг⿡ ¹ÝµµÃ¼ ÈÇаøÇÐÀ̶ó´Â 4ÇгâÀÇ Àü°ø ½ÉÈ °ú¸ñÀ» ´ç°Ü ¼ö°Çϸç A+¶ó´Â ÇÐÁ¡À» ÃëµæÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ½Å¼ÒÀç °øÇаúÀÇ ¡®¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¼ö¾÷¡¯, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¹× 8´ë °øÁ¤¿¡ °üÇÑ NCS ±³À°°ú ½Ç½ÀÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç, MOSFETÀÇ µ¿ÀÛ ¿ø¸®, ´ÜÀ§ °øÁ¤º° ÁÖ¿ä parameter¿¡ ´ëÇÑ ±â¹ÝÀ» ´ÙÁú ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ ¡®Áñ°Å¿ò¿¡ ±â¹ÝÇÑ ¿Á¤¡¯ÀÌ ³ôÀº ¼º°úÀÇ ±â¹ÝÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» ´À³¥ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
ÇöÀçµµ ¹ÝµµÃ¼ ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ±â À§ÇØ ³ª³ë±â¼ú¿¬±¸ÇùÀÇȸÀÇ ¡®GOI Á¦Á¶±â¼ú¡¯ ±³À°À» ¼ö°ÇÏ¸ç ¿Á¤ÀûÀÎ ÀÚ¼¼·Î ´Þ¸®°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·± ÀÚ¼¼¸¦ À¯ÁöÇϸç ÀÔ»ç ÈÄ¿¡µµ ²÷ÀÓ¾øÀÌ ¹ßÀüÇÏ´Â »ï¼ºÀÇ ÀÎÀç°¡ µÇµµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
[¿¬Åº ºÀ»ç·Î ±ú´ÞÀº Çù¾÷ÀÇ ¼ºÃë°¨]
ÁßÇб³ ½ÃÀý ¿µ¼¼ Áö¿ªÁֹΠ°¡Á¤À» À§ÇÑ »ç¶ûÀÇ ¿¬Åº ³ª¸£±â ºÀ»ç¿¡ Âü¿©ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Çʼö ºÀ»ç ½Ã°£À» ä¿ì±â À§ÇØ ½ÅûÇß´ø °ÍÀ̱⿡ ¿¬ÅºÀÇ ¹«°Å¿ò¸¸ »ó»óÇÏ¸ç ºÀ»ç ¿¹Á¤ ³¯Â¥°¡ ¿ÀÁö ¾Ê±â¸¦ ¹Ù¶ú½À´Ï´Ù.
±×·¯³ª ¿¬ÅºÀ» ³ª¸£±â ½ÃÀÛÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ÀÌ·± »ý°¢À» ÇÑ Àڽſ¡°Ô ºÎ²ô·¯¿òÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ¾à 100m °Å¸®¿¡ ÀÏÁ¤ °£°ÝÀ¸·Î ÁÙÀ» ¼¼ °¢ÀÚ À§Ä¡¿¡¼ ¿¬ÅºÀ» ¿·À¸·Î Àü´ÞÇϸç, ´©±º°¡ ÈûÀÌ ºüÁö¸é ¾ç¿·ÀÇ »ç¶÷µéÀÌ µµ¿ÍÁÖ¸ç ¸î¹éÀåÀÇ ¿¬ÅºÀ» ¿Å°å½À´Ï´Ù. ºñ·Ï ÈûÀÌ ´Ù ºüÁö°í ¼ÕÀÌ °Ë°Ô ¹°µé¾úÁö¸¸ ¸ðµç ¿¬ÅºÀ» ³ª¸¥ ÈÄ ´À²¼´ø ¼ºÃë°¨°ú óÀ½ º» Âü¿©ÀÚµé°úÀÇ À¯´ë°¨Àº Àú¿¡°Ô ÀØÁö ¸øÇÒ ¼ø°£ÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ºÀ»ç¸¦ ÅëÇØ ´À³¤ °¨Á¤Àº ÀÌÈÄ ´ëÇб³ ÆÀ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡¼ ÀúÀÇ ¿øµ¿·ÂÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. È¥ÀÚ¼´Â ºÒ°¡´ÉÇÒ °Í °°Àº Áõ·ùž ¼³°è¸¦ ÆÀ¿øµé°ú ¿ªÇÒÀ» ¹èºÐÇÏ°í ÃÖÀûȸ¦ À§ÇØ ³ª¾Æ°¡´Â °ÍÀÌ ÈûµéÁö¸¸ Áñ°Ì±âµµ Çß½À´Ï´Ù. Àü°ø Áö½Ä¿¡¼ °¡Áø ÀúÀÇ °Á¡À» Åä´ë·Î ÆÀ¿øµé°ú »óÈ£ º¸¿ÏÇϸç ÆÀ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ ÀÓÇÑ Àü°ø ÇÁ·ÎÁ§Æ® ÃÖ¿ì¼ö ÆÀ ´Þ¼ºÀ» ÇÏ¸ç ¶Ç ÇÑ ¹ø ¼ºÃë°¨À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù
Defect issueÀÇ ¿øÀÎÀ» ºÐ¼®/°³¼±ÇÔ¿¡ ÀÖ¾î ¼³ºñ ¿£Áö´Ï¾î¿Í Ÿ ºÎ¼ ´ÜÀ§°øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î¿ÍÀÇ Çù¾÷Àº ºÒ°¡ÇÇÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ Çù¾÷À» ÅëÇØ ³¾ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã³ÊÁö¿Í ´À³¥ ¼ö ÀÖ´Â ¼ºÃë°¨À» Àß ¾Ë±â¿¡ Á¦°¡ ¸Ã°Ô µÉ °øÁ¤ºÎ¼, Foundry »ç¾÷ºÎÀÇ ÀÏ¿øÀ¸·Î¼ °øÁ¤ ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ¿ªÇÒ¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
3. ÃÖ±Ù »çȸÀ̽´ Áß Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢µÇ´Â ÇÑ°¡Áö¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ÀÌ¿¡ °üÇÑ ÀÚ½ÅÀÇ °ßÇظ¦ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
[MI °øÁ¤ °íµµÈ¿Í ÀΰøÁö´É: ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ¿ªÇÒ]
4Â÷ »ê¾÷ Çõ¸íÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î ¾÷¹«ÀÇ È¿À²È, ºñ¿ë Àý°¨À» À§ÇØ AI¿Í ºòµ¥ÀÌÅ͸¦ È°¿ëÇÑ AI ±â¹Ý °øÁ¤µéÀÌ Á¦Á¶¾÷ Àü¹ÝÀ¸·Î ÆÛÁ®³ª°¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
½ÇÁ¦·Î ¹èÅ͸® 3»ç´Â ÇØ¿Ü ÀüÁø ±âÁö¸¦ ¼³¸³ÇÏ¸ç ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ ¼öÀ²¿¡ ³ëÃâµÇ¾úÁö¸¸, °Ë»ç ¼Ö·ç¼Ç ºÎ¹®¿¡¼ AI ±â´ÉÀÌ Å¾ÀçµÈ °Ë»ç Àåºñ¸¦ È°¿ëÇÏ¿© ºÒ·®·üÀ» Å©°Ô ÁÙÀÎ »ç·Ê°¡ ÀÖÀ¸¸ç SKÇÏÀ̴нº´Â °¡¿ì½º·¦½ºÀÇ °¡»ó°èÃøÀ» µµÀÔÇÏ¿© CAPEX¸¦ °¨¼Ò½ÃÅ°´Â ¹æ¾ÈÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ »ý»ê¼ºÀ» Áõ°¡½ÃÅ°°í ¼öÀ² È®º¸Çϱâ À§Çؼ´Â Á¦Á¶ °úÁ¤ Áß ½Å¼ÓÇÏ°Ô defect¸¦ ã¾Æ³»´Â °ÍÀÌ ÇÙ½ÉÀÔ´Ï´Ù. ¹Ì¼¼È·Î ÀÎÇÑ ¼¿ »çÀÌÁî °¨¼Ò·Î ¼ÒÀÚÀÇ ¹°¸®Àû, Àü±âÀû Ư¼º ¸ñÇ¥¸¦ °¢ ´ÜÀ§ °øÁ¤º° ´Ü°è¿¡¼ ÃæÁ·µÇ¾ú´ÂÁö È®ÀÎÇÏ´Â MI °øÁ¤ÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¸ðµç MI À̹ÌÁö¸¦ ÀÏÀÏÀÌ ´ëÀÀÇÏ´Â °ÍÀº ¸¹Àº Àη°ú ½Ã°£ ¼Ò¸ð¸¦ ¾ß±âÇÏ¸ç »ý»ê¼ºÀ» ÀúÇϽÃÅ°´Â ¿øÀÎÀÌ µÇ°í ±â¾÷ÀÇ ¼ÕÇØ·Î Á÷°áµÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
MI¿¡¼ AI¸¦ È°¿ëÇÑ´Ù¸é »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÁö¸¸ ÇöÀç·Î¼ AI°¡ ¸¹Àº ¾çÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÇнÀÇÏ°í ¿Ïº®ÇÏ°Ô Çؼ®ÇÏ´Â °Í¿¡´Â ÇÑ°è°¡ Á¸ÀçÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ÏÀüÇÑ ¹«ÀÎÈ¿¡ µµ´ÞÇϱâ À§Çؼ´Â µö ·¯´× °³¼±À¸·Î ¿ÀÂ÷ ¹üÀ§¸¦ ÁÙ¿© ³ª°¡¾ß ÇÏ¸ç ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ Data¸¦ È®º¸ÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
µ¿ÀÏÇÑ Á¤º¸¸¦ È°¿ëÇÔ¿¡ ÀÖ¾î °³°³ÀÎÀÇ Â÷ÀÌ°¡ ¹ß»ýÇϵíÀÌ AI·Î µµÃâµÈ µ¥ÀÌÅ͸¦ ó¸®ÇÔ¿¡ ÀÖ¾î ¿£Áö´Ï¾îº°·Î ÆíÂ÷°¡ ¹ß»ýÇϸç À̸¦ Àß È°¿ëÇÏÁö ¸øÇϸé ÀΰøÁö´ÉÀ» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹«ÀǹÌÇØÁú °ÍÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌÁ¦´Â AI·Î ÃßÃâÇÑ µ¥ÀÌÅÍ È°¿ë ´É·ÂÀÌ °ð °æÀï·ÂÀ¸·Î ÀüȯµÇ´Â ½Ã´ëÀÔ´Ï´Ù. ¿£Áö´Ï¾îµéÀº AI È°¿ë ´É·ÂÀ» ±â¸£±â À§ÇØ Èû½á¾ß ÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀÌ °ð ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» À̲ø¾î °¥ ¼ö ÀÖ´Â Å°¿öµå¶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
4. Áö¿øÇÑ Á÷¹« °ü·Ã º»ÀÎÀÌ °®°í ÀÖ´Â Àü¹®Áö½Ä/°æÇè(½ÉÈÀü°ø, ÇÁ·ÎÁ§Æ®, ³í¹®, °ø¸ðÀü µî)À» ÀÛ¼ºÇÏ°í, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î º»ÀÎÀÌ Áö¿ø Á÷¹«¿¡ ÀûÇÕÇÑ »çÀ¯¸¦ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¼¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
»ý»ê line¿¡¼ Defect issue¸¦ °¡Àå ¸ÕÀú ºÐ¼®/´ëÀÀÇÏ¿© ¼öÀ²°ú °í°´»ç¿ÍÀÇ ³³Ç°ÀÏÀÚ¸¦ Ã¥ÀÓÁö´Â °ÍÀÌ °øÁ¤ ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾îÀÇ Á¸Àç ÀÌÀ¯ÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ª·®À» Å°¿ì±â À§ÇØ
[Àü±âÀû Ư¼º ºÐ¼® ¹× °³¼±¾È µµÃâ]
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ±â¼ú ±³À°¿ø¿¡¼ DC Analyzer(HP4145), LCR Meter(HP4284)¸¦ È°¿ëÇÏ¿© Vgs, Vds¿¡ µû¸¥ MOSFETÀÇ I-V curve¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ°í °øÁ¤°ú ¿¬°ü Áö¾î ºÐ¼®ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
WaferÀÇ center¿Í edge¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ°í spec line¿¡¼ ¹þ¾î³ Ids°¡ ÃøÁ¤µÈ ¿øÀÎÀ» ¼ÒÀÚÀÇ ±¸Á¶¿Í °øÁ¤ÀÇ °ü°è¸¦ ÅëÇØ ºÐ¼®ÇÏ°í °³¼±¾ÈÀ» ¹ßÇ¥Çß½À´Ï´Ù. IdsÀÇ ¼ö½ÄÀ» ÅëÇØ Gate, Gox ±¸Á¶¸¦ ¿¹ÃøÇÏ°í ´ÜÀ§ °øÁ¤µéÀÇ parameter Á¶Àý·Î ºÒ·®·üÀ» °¨¼Ò½Ãų ¹æ¾ÈÀ» °í¹ÎÇغ¸¾Ò½À´Ï´Ù. Gas flow, Temp, Expose E, TimeÀÇ °³¼±À¸·Î lds¸¦ Á¤»ó¹üÀ§ ¾È¿¡ µé¾î¿À°Ô ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ¹ßÇ¥Çϸç Àü±âÀû Ư¼º data¸¦ ºÐ¼®ÇÏ¿© °øÁ¤À» °³¼±ÇÏ´Â process¿¡ ´ëÇØ °¨À» ÀâÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
[Etch ½ÉÈ ÇнÀ]
¶ÇÇÑ 8´ë °øÁ¤ Áß Etch °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ Àß ÀÌÇØÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¡®¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ±â¼úÀÇ ÀÌÇØ¡¯¶ó´Â Ã¥À» ÅëÇØ Dry etch¿¡ ´ëÇØ ±í°Ô °øºÎÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Dry Etch´Â plasmaÀÇ »ý¼º Á¦¾î¸¦ ÅëÇØ Radical°ú IonÀÇ ¹Ðµµ¸¦ Á¶ÀýÇϱ⿡ Gas À¯·®, ¾Ð·Â, RF power µî ´Ù¾çÇÑ º¯¼öµéÀÌ Á¸ÀçÇÕ´Ï´Ù. °¢ ȸ·Î ÆÐÅϺ°·Î Etch µÇ´Â ¹°Áú, A/R ÀÌ ´Ù¸£¹Ç·Î °øÁ¤ ¼³°è¿¡ µû¶ó ¾ç»ê¿¡ ÀûÇÕÇÑ Gas Á¾ÀÇ ¹èÇÕ°ú Plasma density¸¦ ÅëÇØ °øÁ¤À» ÃÖÀûÈÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ºÒ·® ¹ß»ý ½Ã OCD·Î CD, Depth, Height¸¦ ÆľÇÇÏ°í parameter °úÀÇ »ó°ü°ü°è¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î º¯¼öµéÀ» Á¶ÀýÇØ °á°ú¸¦ ¿¹ÃøÇÏ°í Interlock Holding¿¡ ½Å¼ÓÈ÷ ´ëÀÀÇÏ´Â °ÍÀº °øÁ¤ ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾îÀÇ Áß¿äÇÑ ¿ª·®À̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
</span></div></div></div></div></div>