<div id="file_info_box"><div id="detail_info"><link type="text/css" rel="stylesheet" href="//i.incru.it/ui/static/css/people/view_temp.css"><div class="peopleview_temp peopleview_temp1"><div class="temp_header"><h1 class="h1">[»ï¼ºÀüÀÚ] ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼</h1><span class="state-icon">ÇÕ°Ý</span></div><div class="temp_header_util"><span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤±â°è¡¤±â¼ú¡¤ÈÇС¤¿¬±¸°³¹ß</span> <span class="key_text">ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼</span> <span class="key_text">°øÁ¤¿£Áö´Ï¾î</span><br><span class="key_text">½ÅÀÔ</span> <span class="key_text">2024³â /3¿ù</span></div><div class="temp_contents"><div class="temp_box"><span class="temp_txt">1.»ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ. (700ÀÚ)
[E ±â¼úÆÀ: SF3P(SF2) MBCFET Etch ¾ç»ê °æÀï·Â È®º¸]
3³ª³ë MBCFETÀÇ Etch¸¦ °ü¸®ÇÏ°í ¼ÒÀÚ Ç°Áú°ú SF3P ¼öÀ² Á¦°í¸¦ ¸ñÇ¥·Î °øÁ¤±â¼ú °íµµÈ¿¡ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ Áö¿øÇÕ´Ï´Ù.
³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ 180nm CMOS Á¦ÀÛ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡¼ BEOL´Ü Via hole Etch ½Ã contact ÀúÇ×À» °¨¼Ò½ÃŲ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. °øÁ¤ °á°ú SEM ºÐ¼®°ú parameter split test Çؼ®À» Åä´ë·Î ViaÀÇ Etch profileÀ» °³¼±½ÃÄ×½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÇкΠ½ÃÀý ¹ÝµµÃ¼ ÈÇаøÇÐ, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹× Àåºñ ¼øȯ ½Ç½ÀÀ¸·Î Fab¿¡ ÃâÀÔÇÏ¸ç °¢ ´ÜÀ§°øÁ¤ ¸ÞÄ¿´ÏÁò°ú Çö¾÷ Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ °æÇèÀû Áö½ÄÀ» ÇÔ¾çÇß½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ 5ÁÖ°£ÀÇ ¸ðµâ °ü¸®¸¦ ÅëÇØ °øÁ¤µé°£ À¯±âÀû °ü°è¿Í »êÆ÷ÀÇ Á߿伺À» üµæÇÏ°í SEM, TEM µî °èÃø Àåºñ È°¿ë¹ýÀ» Å͵æÇß½À´Ï´Ù.
ÀÌó·³ ¸ðµâ Á¦ÀÛ, Etch parameter ÃÖÀûÈ °æÇè°ú °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇظ¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¾ç»ê°ú °øÁ¤ set-up ½Ã ¹ß»ýÇÏ´Â issue¸¦ ÇØ°áÇØ »ý»ê¼º°ú ¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃÅ°°Ú½À´Ï´Ù.
ÀÔ»ç ÈÄ¿¡´Â ±â¼ú ÀÓ¿ø(Master)À» ¸ñÇ¥·Î ¼ÒÀÚ(scheme)¿Í Ÿ °øÁ¤ÀÇ ÀÔÀåÀ» °í·ÁÇÏ¿© ÁÖµµÀûÀ¸·Î Foundry ¾ç»ê °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇØ Á¡À¯À²À» ³ôÀÌ°Ú½À´Ï´Ù.
ÇâÈÄ 5³â µ¿¾ÈÀº ÇöóÁ¿Í °øÁ¤/¼³ºñ¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇظ¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î »êÆ÷ °³¼±°ú Etch °øÁ¤ ¼º¼÷µµ Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
2. º»ÀÎÀÇ ¼ºÀå°úÁ¤À» °£·«È÷ ±â¼úÇ쵂 ÇöÀçÀÇ Àڽſ¡°Ô °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç°Ç, Àι° µîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ±â¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1500ÀÚ)
[ÀÚ±â ÁÖµµÀû »óȲ Ÿ°³ ´É·Â: Image J¸¦ È°¿ëÇÑ AlÀÇ °æÇ⼺ ºÐ¼®]
¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÒ ¶§, ÁÖµµÀûÀ¸·Î »óȲÀ» ÇØ°áÇÏ·Á´Â ŵµ¸¦ °®°Ô µÈ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ Àåºñ ½Ç½À ´ç½Ã M1 layerÀÇ sheet resistance°¡ ¿¹»ó°ª°ú ´Þ¶ó ¿øÀÎ ºÐ¼®À» À§ÇØ Etch profileÀÌ ´Ù¸¥ Al TEM À̹ÌÁöÀÇ ³ÐÀ̸¦ ÃøÁ¤ÇØ¾ß Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª TEM Àåºñ¿Í ¿¬°áµÈ ÄÄÇ»ÅÍÀÇ °íÀåÀ¸·Î ±³À° ±â°£ ³»¿¡ ÀÛ¾÷ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ »óȲÀ̾ú½À´Ï´Ù. Àú¿¡°Ô´Â µÎ °¡Áö ¼±ÅÃÁö°¡ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
1. ¸àÅä´ÔÀ» ÅëÇØ Å¸ ºÎ¼¿¡ ºÎŹÇÏ¿© ¸éÀû °ª Data ¼ö·É
2. ³ëÆ®ºÏÀ¸·Î ½ÇÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ë¾ÈÀ» ã¾Æ ¸éÀû °ªÀ» °è»ê
Ÿ ºÎ¼¿¡ ºÎŹÇÏ¿©µµ È®½ÇÇÏÁö ¾ÊÀº data ¼ö·ÉÀÏ, Á÷Á¢ À̹ÌÁö¸¦ ó¸®ÇÏ´Â ¿ª·®À» Å°¿ï ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¶ó »ý°¢ÇØ µÎ ¹ø° ¹æ½ÄÀ» ¼±ÅÃÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
¸ÕÀú ±¸±Û¸µÀ¸·Î À̹ÌÁö ÇÁ·Î¼¼½Ì¿¡ ´ëÇØ Á¶»çÇÏ¸ç ¡°³ëÆ®ºÏ¿¡¼ÀÇ ÀÛµ¿ ¿©ºÎ, ¹«·á·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÑÁö¡±¸¦ ±âÁØÀ¸·Î ¹æ¹ýµéÀ» ¼Ò°ÅÇØ ³ª°¬½À´Ï´Ù. Á¶»ç ³¡¿¡ Image J¶ó´Â ÇÁ·Î±×·¥À» ¹ß°ßÇÏ¿´°í Tool µéÀ» »ç¿ëÇϱâ À§ÇØ ¿µ»ó °ÀǸ¦ ã¾Æº¸¸ç ¸éÀû °è»ê¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉµéÀ» ÀÍÇû½À´Ï´Ù. ±× °á°ú TEM À̹ÌÁö ±â¹ÝÀÇ scale setting°ú ¿©·¯ ¹øÀÇ ½ÃÇàÂø¿À¸¦ ÅëÇØ wand toolÀÇ ÀûÀýÇÑ tolerance °ª ¼³Á¤À¸·Î ¸éÀû °ªÀ» µµÃâÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ À̸¦ È°¿ëÇØ ¼º°øÀûÀ¸·Î °æÇ⼺À» ºÐ¼®ÇÏ°í ¸àÅä´ÔÀÇ ±àÁ¤ÀûÀÎ Çǵå¹éÀ» ¹Þ¾Ò½À´Ï´Ù.
[Çù¾÷ÀÇ È¿À²¼º ÁõÁøÀ» À§ÇÑ Å¸ ¾÷¹« ÀÌÇصµ]
È¿À²ÀûÀÎ Çù¾÷À» À§ÇØ ¼·ÎÀÇ ¾÷¹« ÀÌÇصµ¸¦ ³ôÀÌ°í ÁøÇà Á¤µµ¸¦ ¼ö½Ã·Î üũÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÔÀ» 6°³¿ù°£ Ä«Æä ¾Æ¸£¹ÙÀÌÆ®¸¦ ÅëÇØ ¹è¿ü½À´Ï´Ù.
Å×ÀÌÅ©¾Æ¿ô Àü¹®Á¡ÀÇ Æ¯¼º»ó ¼Õ´ÔÀÌ ¸ô·Á¿À´Â Ãâ±Ù ½Ã°£¿¡´Â ºü¸¥ ÀÀ´ë·Î ´ë±â ¼Õ´ÔÀ» ¸¸µéÁö ¾Ê´Â °ÍÀÌ ¿ä±¸µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·± ÀÌÀ¯·Î °í°´ ÀÀ´ë ¹× Á¦Á¶ ¿Ï·áµÈ À½·á Æ÷Àå 1¸í, À½·á Á¦Á¶ 1¸í, ÁÖ¹®¿¡ ¸Â°Ô ¼¦À» ³»¸®´Â 1¸í ÀÌ·¸°Ô ÃÑ 3¸íÀÌ ¿ªÇÒÀ» ºÐ´ãÇÏ¿´À¸¸ç Àú´Â À½·á Á¦Á¶¸¦ ´ã´çÇß½À´Ï´Ù. ±×·³¿¡µµ ÁÖ¹®ÀÌ ¸¹À» ¶§´Â À½·á¿¡ ¸ðµç Àç·á°¡ µé¾î°¡Áö ¾ÊÀº »óÅ¿¡¼ Á¦°øµÇ¾î ¼Õ´ÔµéÀÇ Ç×ÀǸ¦ ¹ÞÀº Àûµµ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. °¢ÀÚ ÀÚ½ÅÀÇ ¾÷¹«¿¡¸¸ ÁýÁßÇÏ¸ç ¼Óµµ¸¦ ³»´Ùº¸´Ï ¹ß»ýÇÏ´Â »óȲÀ̾ú½À´Ï´Ù. ½Ç¼ö¸¦ ÁÙÀÌ·Á¸é ¼·Î ¸»ÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ ¸î ¹ø° ÁÖ¹®ÀÌ ³ª°¬´ÂÁö, ¾î¶² À½·á¸¦ ¸¸µé°í ÀÖ´Â °ÇÁö ÆľÇÇØ¾ß Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯±â À§Çؼ´Â ÀÏÁ¤ ¼öÁØ ¼·ÎÀÇ ¾÷¹«¿¡ ´ëÇØ ¼÷ÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇØ 2ÁÖ°£ ¼·Î ¿ªÇÒÀ» ¹Ù²ã°¡¸ç ¼Õ´ÔÀ» ÀÀ´ëÇß½À´Ï´Ù. À̸¦ ÅëÇØ 3°¡Áö ¾÷¹«¸¦ ÀüºÎ ÀÏÁ¤ ¼öÁØ ÀÌ»ó ¼÷ÁöÇÏ¿´°í ÀÌÈķδ À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½Å¼ÓÇÏ°Ô ¼·ÎÀÇ ÁøÇà »óȲÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸ç ¶ÇÇÑ ½Ç¼öÀÇ ºóµµµµ ÇöÀúÈ÷ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¾ç»ê °ü¸®¿¡ À־µ Á¦°¡ ¸Ã°Ô µÉ °øÁ¤»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Ÿ °øÁ¤, ¼³ºñ, Á¦Á¶(¿î¿µ), ¼ÒÀÚ¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇصµµµ ÁÖµµÀûÀ¸·Î ³ôÀ̸ç È¿À²ÀûÀÎ Çù¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.
3.ÃÖ±Ù »çȸÀ̽´ Áß Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢µÇ´Â ÇÑ°¡Áö¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ÀÌ¿¡ °üÇÑ ÀÚ½ÅÀÇ °ßÇظ¦ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
[»ý¼ºÇü AI: ȯ°¢ Çö»ó ÇØ°á°ú »ý»ê´É·Â È®´ë ¹æÇ⼺]
¿Âµð¹ÙÀ̽º AIÆù ¡®°¶·°½Ã 24¡¯¸¦ ¼±µÎ·Î ÀÚü »ý¼ºÇü AI¸¦ žÀçÇÑ ÇÚµåÆù, PC, ³ëÆ®ºÏ µî ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°ÀÇ Ãâ½Ã°¡ ¿¹°íµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. 2032³â ½ÃÀå ±Ô¸ð 80Á¶¿øÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â ¸¸Å ½Ã°£ÀÌ Áö³¯¼ö·Ï ¡®°³ÀÎ ¸ÂÃãÇü AI ºñ¼¡¯·Î¼ »ç¶÷µéÀÇ »î¿¡ ³ì¾Æµé°í »ý¼ºÇü AI Àü¿ë ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿äµµ ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÏ»ó»ýÈ°¿¡ ÀÖ¾î »ý¼ºÇü AIÀÇ È°¿ëÀº ¹®¼ ¿ä¾à, ÀÚµ¿ ¹ø¿ª µî ¾÷¹«ÀÇ ½Ã°£À» ´ÜÃà½ÃÄÑ ´õ¿í ºü¸¥ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸ ºÐ¸íÇÑ ´ÜÁ¡µµ Á¸ÀçÇÕ´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÀΰøÁö´ÉÀÌ ¸¸µé¾î³»´Â ȯ°¢ Çö»ó¿¡ ÀÇÇÑ À߸øµÈ Á¤º¸·Î ¿ÀÈ÷·Á ¾÷¹«¿¡ ÁöÀåÀ» ÁÙ ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. »ç¿ëÀÚÀÇ ÀÔÀå¿¡¼´Â ³»¿ëÀ» °ËÅäÇÏ°í Áø½ÇµÈ µ¥ÀÌÅ͵鸸 Ãß·Á³»´Â ´É·ÂÀÌ ¿ä±¸µÉ °ÍÀ̱⿡ »ç¿ë¿¡ ¹ø°Å·Î¿òÀÌ Á¸ÀçÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ´Â °ð ¼ö¿ä °¨¼Ò·Î À̾îÁú ¼öµµ ÀÖ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ±×·¸±â¿¡ ±â¾÷µéÀº ¡®È¯°¢ Çö»ó¡¯À» °³¼±ÇÏ´Â °Í¿¡ ¿ì¼±À¸·Î ÅõÀÚÇØ »ý¼ºÇü AI·ÎºÎÅÍ ½Å·Ú¼ºÀÌ È®º¸µÈ Á¤º¸°¡ µµÃâµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ AI ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¾÷üµéÀº »ý»ê ´É·Â È®´ë ¼Óµµ¸¦ ÀûÀýÈ÷ Á¶ÀýÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. Device ±³Ã¼ ÁÖ±â¿Í ¿Âµð¹ÙÀ̽º AI ¿Ç³ÀÌ ¸Â¹°·Á HBM µî AI ¹ÝµµÃ¼µéÀÇ ¼ö¿ä°¡ ±ÞÁõÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇÁö¸¸ ¾ÆÁ÷ ·¯½Ã¾Æ¿Í À̽º¶ó¿¤ÀÇ ÀüÀïÀÌ Áö¼ÓµÇ°í ÀÖ´Ù´Â Á¡°ú Áß±¹ÀÇ °æÁ¦ ħü·Î ½ÃÀåÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. ÀÌ·± ÀÌÀ¯·Î »ý»ê ´É·Â È®´ë¸¦ À§ÇØ °øÀåÀ» ¹«¸®Çؼ Áõ¼³ÇÏ°Ô µÇ¸é ÀÚÄ© Å« ¼ÕÇØ·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ±× ´ë½Å °¡µ¿µÇÁö ¾Ê¾Ò´ø ¶óÀεéÀ» ¿ì¼±ÇÏ¿© AI ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àü¿ë °øÀåÀ¸·Î ¼Â¾÷ ÇÏ´Â °ÍÀÌ À§ÇèºÎ´ãÀÌ ´õ ÀûÀ» °ÍÀÔ´Ï´Ù. ±×·¯¹Ç·Î »ï¼ºÀüÀÚµµ ÆòÅÃÀÇ P4 °øÀå °Ç¼³ ¼Óµµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ°í °¨»êÀ» À§ÇØ °¡µ¿ÇÏÁö ¾Ê¾Ò´ø °øÀåÀ» ¸ÕÀú HBM ¾ç»ê Àü¿ëÀ¸·Î set- up ÇÏ´Â °Íµµ °í·ÁÇØ º¼¸¸ÇÑ ¹æ¹ýÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
4. Áö¿øÇÑ Á÷¹« °ü·Ã º»ÀÎÀÌ °®°í ÀÖ´Â Àü¹®Áö½Ä/°æÇè(½ÉÈÀü°ø, ÇÁ·ÎÁ§Æ®, ³í¹®, °ø¸ðÀü µî)À» ÀÛ¼ºÇÏ°í, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î º»ÀÎÀÌ Áö¿ø Á÷¹«¿¡ ÀûÇÕÇÑ »çÀ¯¸¦ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¼¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
[O2 À¯·® ÃÖÀûȸ¦ ÅëÇÑ Via contact ÀúÇ× 23% °¨¼Ò]
³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ 180nm CMOS Á¦ÀÛ ±³À° Áß BEOL ¸ðµâ¿¡¼ M1-V1-M2 layer¸¦ 17 stepÀ¸·Î Çü¼ºÇÏ°í Via hole contact ÀúÇ×À» ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. Via Etch¸¦ Ãʱâ Á¶°Ç(C4F8:8sccm, O2: 4sccm)À¸·Î ÁøÇà ÈÄ FE-SEM ºÐ¼® °á°ú Top°ú Bottom CD°¡ ¾à 50nm Â÷À̳ª´Â Tapered ÇüÅ¿´½À´Ï´Ù. Profile¿¡ ÀÇÇÑ contact ÀúÇ×ÀÇ Áõ°¡°¡ ¿¹»óµÇ¾î ÀúÇ×À» ³·Ãß±â À§ÇØ ¾Ð·Â, À¯·®, Bias powerÀÇ split test¸¦ ÁøÇàÇß½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷ T/B CD Â÷ÀÌ °¨¼Ò¸¦ ¸ñÇ¥·Î O2 À¯·®À» 4~10sccm±îÁö 1sccm¾¿ Áõ°¡½ÃÅ°¸ç ½ÇÇèÇß½À´Ï´Ù. °á°úÀûÀ¸·Î 8sccm¿¡¼ Top/Bottom CD Â÷ÀÌ°¡ 22nm·Î ÃÖ¼Ò¿´À¸¸ç ÈÄ¿¡ Kelvin type ÆÐÅÏ ÃøÁ¤À¸·Î contact ÀúÇ×ÀÌ 12¿È¿¡¼ 9.2¿ÈÀ¸·Î °³¼±µÊÀ» È®ÀÎÇß½À´Ï´Ù.
[PECVD ¼³ºñ ³» Twin è¹ö »êÆ÷ °³¼± RCP µµÃâ]
PECVDÀåºñ ½Ç½À Áß Ã¨¹ö ³» W/F 1 2¹ø °£ P-SiO D/R »êÆ÷¸¦ °³¼±ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. Twin è¹ö Ư¼º»ó ¾Ð·Â, À¯·®Àº °³º° Á¦¾î°¡ ºÒ°¡´ÉÇ߱⿡ RF power¿Í spacingÀÇ split test µ¥ÀÌÅÍ °á°ú¸¦ ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. RF power°¡ 480W ÀÌÈķδ °í¿¡³ÊÁö ÀÌ¿Â Ãæµ¹·Î D/RÀÌ °¨¼ÒÇÏ´Â Æ®·»µå¸¦ È®ÀÎÇß°í, À̸¦ Åä´ë·Î 490W,510W¿¡¼ spacingÀ» 5mils¾¿ Áõ°¡½ÃÅ°¸ç Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇß½À´Ï´Ù. ±× °á°ú power:510W, spacing:475mils¿¡¼ ¿ÀÂ÷À²À» 2.4%p °¨¼Ò½ÃŲ RCP¸¦ ãÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù
¸ðµâÀ» °ü¸®ÇÏ¸ç °øÁ¤ º¯¼ö split Á¶°ÇÀ» ¼³Á¤, °á°ú¸¦ ºÐ¼®ÇÏ¿© °øÁ¤»óÀÇ À̽´¸¦ °³¼±ÇÑ °æÇèÀº ÃÖÀûÀÇ ¾ç»ê Á¶°ÇÀ» À§ÇØ RCP¸¦ Æ©´×Çϸç SF3P °æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ±â¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
</span></div></div></div></div></div>