ÀÚ±â¼Ò°³¼­ »ùÇÃ

  • Á¶È¸¼ö 1,331
  • À̸ÞÀϺ¸³»±â
    ÁÖ¼Òº¹»ç
    Æ®À§ÅÍ °øÀ¯
    ÆäÀ̽ººÏ °øÀ¯

[ASML] ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­

ÇÕ°Ý
ÀüÀÚ¡¤±â°è¡¤±â¼ú¡¤È­ÇС¤¿¬±¸°³¹ß ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñ
½ÅÀÔ 2023³â /12¿ù
[1. Àü°ø ¹× ÇкΠ¿¬±¸»ýÀ» ÅëÇÑ Á÷¹« ¼³Á¤]
Àü±â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ±â À§ÇØ ¹æÇ⼺ ÀÖ°Ô ³ë·ÂÇØ ¿Ô°í, À̸¦ ÅëÇØ Á÷¾÷°ü¿¡ È®½ÅÀÌ »ý°å½À´Ï´Ù. ¡®Àü·Â±â±â ½ÇÇ衯¿¡¼­ MG ¼¼Æ®, º¯¾Ð±â, ÀιöÅÍ µîÀÇ ÀåÄ¡¸¦ Á¢Çß½À´Ï´Ù. FET, AMP µîÀÇ ¼ÒÀڵ鿡 ºñÇØ ´õ Å« Àü¾Ð°ú Àü·ù¸¦ ´Ù·ç¸ç, ´õ ¿ªµ¿ÀûÀ¸·Î µ¿ÀÛÇÑ´Ù´Â Á¡ÀÌ Èï¹Ì·Î¿ü½À´Ï´Ù. ´ÙÀ½ Çб⿡ ¼ö°­ÇÑ ¡®Àü±â±â°è 1¡¯¿¡¼­´Â ´Ù¾çÇÑ Àüµ¿±â, ¹ßÀü±â¿Í ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ¿ø¸®¸¦ ¹è¿ü½À´Ï´Ù. Èï¹Ì¸¦ °¡Áö°í ¿ø¸®¸¦ ÀÌÇØÇÏ´Ï, ÀÚ¿¬½º·´°Ô ¸ðµÎ ÁÁÀº ¼ºÀûÀ» ¹Þ¾ÒÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

Àû±ØÀûÀ¸·Î ÇкΠ¿¬±¸»ýµµ Âü¿©Çß½À´Ï´Ù. CVD Àåºñ¸¦ Á÷Á¢ ºÐ¼®ÇÏ¿©, ±â°èÀåÄ¡ÀÇ ÀÌÇصµ¸¦ ³ô¿´½À´Ï´Ù. ÇкΠ¿¬±¸»ý µ¿¾È, CVD Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¹Ú¸· ÇÕ¼º °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¿¡ °üÇØ ¿¬±¸Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª Àåºñ¿¡ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÏ¿© ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÏÁö ¸øÇÑ ÀûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÈñ ÆÀÀº Áø°ø ÆßÇÁ, Chamber µîÀÇ HW¸¦ Á÷Á¢ ºÐÇØ/Á¶¸³/Å×½ºÆ®Çß°í, °øÁ¤ ¼³ºñ ¿£Áö´Ï¾î¿Í Á÷Á¢ ¼ÒÅëÇØ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ CVD Àåºñ¸¦ ´õ¿í ¿Ïº®È÷ ´Ù·ç°í ÀÌÇØÇßÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ü·Ã Á÷¹«·Î ¹æÇ⼺À» Á¤Çß½À´Ï´Ù.
ÇÑÆí, ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÏ´Â µ¿¾È ¾îÇÐ ´É·ÂÀ» ´õ¿í Å°¿ü½À´Ï´Ù. 9°³¿ù µ¿¾È, °°Àº ÆÀ Post Doctor¿Í ¿µ¾î·Î ¼ÒÅëÇϸç ÇÔ²² ¿¬±¸Çß½À´Ï´Ù. ¼³ºñ ¹× °øÁ¤ º¯¼öÀÇ º¯°æ, ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ °èȹ µî, °¢ÀÚÀÇ Áö½Ä°ú °æÇèÀ» ±Ù°Å·Î °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¸¦ À§ÇØ ²÷ÀÓ¾øÀÌ Åä·ÐÇß½À´Ï´Ù. ºñ·Ï óÀ½¿¡´Â ¾î·Á¿üÁö¸¸, °è¼ÓÇؼ­ À̾߱âÇÏ´Ù º¸´Ï ¿µ¾î·Î ´ëÈ­ÇÏ´Â °Í¿¡ Èï¹Ì¸¦ °®°Ô µÆ°í, ¾îÇÐ ´É·ÂÀ» ´õ¿í Å°¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

[2. CVD ÀåºñÀÇ ºÒ·® °³¼± ¹× Loss Á¦°Å¸¦ ÅëÇÑ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­]
ÇкΠ¿¬±¸»ý µ¿¾È, Chamber ³» ¿Âµµ, ¾Ð·Â µîÀÇ °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© ÃÖÀûÈ­ Parameter¸¦ ã±â À§ÇØ ³ë·ÂÇß½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª, °©ÀÛ½º·´°Ô Àåºñ ³» ChamberÀÇ Áø°ø ¼º´ÉÀÌ ¾ÇÈ­µÆ½À´Ï´Ù. ÀúÈñ ÆÀÀº 4°¡Áö Ãø¸é¿¡¼­ ¿øÀÎÀ» ÆľÇÇÏ¿© ºÒ·®À» ÇØ°áÇß°í, ¡®°øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¡¯ ¿¬±¸ ¼º°ú¸¦ ´Þ¼ºÇß½À´Ï´Ù.

ù ¹ø°´Â Áø°ø ÆßÇÁÀÇ ¼º´É ÀúÇÏÀÔ´Ï´Ù. ³»ºÎ ¾Ð·ÂÀº ´ë°³ ÆßÇÁÀÇ ¼º´É¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÞÀ» °Å¶ó ÆÇ´ÜÇÏ¿©, ÆßÇÁ ³» ¿ÀÀÏ°ú ÇÊÅ͸¦ ±³Ã¼Çß½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ³»ºÎ ¾Ð·ÂÀº 0.1 Torr·Î, ¹®Á¦´Â ÇØ°áµÇÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù.
µÎ ¹ø°´Â ¾Ð·Â ¼¾¼­ÀÇ ¹®Á¦ÀÔ´Ï´Ù. ÆßÇÁ¿¡ ÀÌ»óÀÌ ¾øÀ½À» ¾Ë¾Ò±â¿¡, °èÃø±âÀÇ ¹®Á¦ÀÏ °¡´É¼ºÀÌ ÄǽÀ´Ï´Ù. Àåºñ ¼³¸í¼­¸¦ ÅëÇØ ¼¾¼­°¡ ¼öÆòÀ¸·Î ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÆ°í, ¼¾¼­¸¦ ¼öÆòÀ¸·Î Àç¹èÄ¡Çß½À´Ï´Ù. ¾Ð·ÂÀº 0.08 Torr·Î ¼¾¼­´Â ÀÌÀüº¸´Ù Á¤È®ÇØÁ³Áö¸¸, ¾ÆÁ÷ ºÒ·®ÀÌ °³¼±µÇÁö´Â ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù.
¼¼ ¹ø°´Â ¹è°üÀÇ ³ëÈÄÈ­ÀÔ´Ï´Ù. Ar °¡½º ¹è°üÀº »ç¶÷°úÀÇ Á¢ÃËÀÌ ºó¹øÇϱ⠶§¹®¿¡, ³ëÈÄÈ­µÈ ¹è°üÀ» ÅëÇØ °ø±â°¡ »ø °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÆßÇÁ¸¦ µ¿ÀÛ½ÃŲ »óÅ¿¡¼­ IPA ¿ë¾×À» ¹è°ü¿¡ ¶³¾î¶ß·Á, ³»ºÎÀÇ Áø°ø »óÅ°¡ ÀϽÃÀûÀ¸·Î ÁÁ¾ÆÁö´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ »õ ¹è°üÀ¸·Î ±³Ã¼ÇÏ¿© ÀÌÀüÀÇ ¾Ð·ÂÀÎ 0.003 Torr¸¦ µÇã¾Ò½À´Ï´Ù.
¸¶Áö¸·Àº Àåºñ ³» ºÒ¼ø¹°ÀÔ´Ï´Ù. È­ÇÐ ¹ÝÀÀÀ» À§ÇØ À¯ÀԵǴ Ar °¡½º°¡ ¹ÛÀ¸·Î ³ª°¡¸é¼­, Ãⱸ ÂÊ¿¡ ½×ÀÎ Àü±¸Ã¼°¡ ÆßÇÁÀÇ ¼º´ÉÀ» °¨¼Ò½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ Åç·ç¿£, ¾Æ¼¼Åæ µîÀ¸·Î ³»ºÎ ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇß°í, ¾Ð·ÂÀ» 0.001 Torr±îÁö °³¼±Çß½À´Ï´Ù.

ÀÌÈÄ ÃÖÀûÈ­µÈ ¼³ºñ¸¦ ÅëÇØ, °øÁ¤ º¯¼ö¿Í ¹Ú¸· Ä÷¸®Æ¼ »çÀÌÀÇ °ü°è¼º¿¡ °üÇÑ ³í¹®À» ±³³» ÀâÁö¿¡ °ÔÀçÇß½À´Ï´Ù. ÀúÈñ°¡ ãÀº °ü°è¼ºÀ¸·Î ÃÖÀûÀÇ ¹Ú¸·À» ¾ç»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Å« Àǹ̰¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ ¡®¼³ºñ¿¡ ´ëÇÑ Á¤È®ÇÑ ÀÌÇØ°¡ ¶Ù¾î³­ °øÁ¤À» ¸¸µç´Ù¡¯´Â °ÍÀ» ±ú´Þ¾Ò½À´Ï´Ù. Á¤È®ÇÑ ¿øÀÎ ºÐ¼®°ú ¹®Á¦ÇØ°á ¿ª·®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í°´¿¡°Ô ÃÖÀûÈ­ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â MPS Field Service Engineer°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

[3. ÇнÀ¸ðµ¨ º¯°æÀ» ÅëÇÑ ¸Ó½Å·¯´× Á¤È®µµ Çâ»ó]
PythonÀ» »ç¿ëÇØ ÁÖº¯¿¡¼­ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Â µ¥ÀÌÅ͸¦ ¸Ó½Å·¯´×¿¡ Àû¿ëÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ® °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÁÖÁ¦´Â ¡®ÇöÁö dz¼Ó°ú ±â¾ÐÀ» ÅëÇØ ÆÄ°í¸¦ ¿¹ÃøÇÏ´Â °Í¡¯À̾ú½À´Ï´Ù. ¼±Çü ȸ±Í, ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í, ´ÙÁß ºÐ·ù ¸ðµ¨ Áß, ÀÔ·Â º¯¼ö·Î °á°ú °ªÀ» ¿¹ÃøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼±Çü ȸ±Í¸¦ ¼±ÅÃÇß½À´Ï´Ù.

±×·¯³ª ÇöÁö dz¼Ó°ú ±â¾Ð, µÎ º¯¼ö¸¸À¸·Î ¿¹ÃøÇÑ ÆÄ°íÀÇ Á¤È®µµ´Â 62%¿´°í, ¼±Çüȸ±Í ¸ðµ¨·Î´Â Á¤È®µµ °³¼±¿¡ ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜÇß½À´Ï´Ù. óÀ½ ÀúÈñ°¡ ÆÄ°í¸¦ ¿¹ÃøÇÏ·Á Çß´ø ÀÌÀ¯´Â »ç¶÷µéÀÌ ÆĵµÀÇ À§Çèµµ¸¦ ¹Ì¸® ¾Ë°í ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çϱâ À§ÇÔÀ̾ú½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ Àú´Â ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í·Î ¸ðµ¨À» º¯°æÇÏ¸é ¿¹Ãø Á¤È®µµ°¡ ºÐ¸íÈ÷ ¿Ã¶ó°¥ °Å¶ó »ý°¢ÇÏ¿© ÀÇ°ßÀ» Á¦½ÃÇß°í, ÆÀ¿øµéµµ ¸ðµÎ ÀÌ¿¡ µ¿ÀÇÇß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ µÎ ÀÔ·Â º¯¼ö¸¸À¸·Î ¡®À§ÇèÇÑ ³¯¡¯°ú ¡®¾ÈÀüÇÑ ³¯¡¯À» ¿¹ÃøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í·Î ¸ðµ¨À» º¯°æÇß½À´Ï´Ù.

º¯°æ ÈÄ, ¿¹Ãø °á°ú°¡ ¸ðµÎ False(À§Çè)·Î Ãâ·ÂµÇ´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. Àú´Â ÀÌÀüÀÇ ÆÄ°í µ¥ÀÌÅÍ °ªÀÌ ·ÎÁö½ºÆ½ ȸ±Í ¸ðµ¨ÀÇ ÇÔ¼ö °è»ê½Ä¿¡ ºÎÇÕÇÏÁö ¾Ê¾Æ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß´Ù°í ÆÇ´ÜÇß½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ÆÄ°í µ¥ÀÌÅ͸¦ À§Çè ³ôÀÌÀÎ 2.1m¸¦ ±âÁØÀ¸·Î, ±× ÀÌ»óÀº False(À§Çè, 1), ÀÌÇÏ´Â True(¾ÈÀü, 0)·Î ¼öÁ¤Çß°í, ¿¹Ãø Á¤È®µµ¸¦ 91%±îÁö Áõ°¡½ÃÄ×½À´Ï´Ù. Á¤È®ÇÑ ¿øÀÎ ºÐ¼®°ú µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁ¤À» ÅëÇØ ½Å·Úµµ ³ôÀº ÇÁ·Î±×·¥À» ±¸ÇöÇÏ¿© Á¤¸» »ÑµíÇß½À´Ï´Ù. ¾ÕÀ¸·Îµµ, ¾÷¹« ¼öÇà ½Ã ¹ß»ýÇÏ´Â À̽´¸¦ Æ®·¯ºí ½´ÆÃÇÏ¿© ÀåºñÀÇ ½Å·Úµµ¸¦ ³ôÀÌ°í, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í°´ÀÌ ¹ÏÀ» ¼ö ÀÖ´Â ¿£Áö´Ï¾î·Î ¼ºÀåÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

[4. Àü°ø ÇÁ·ÎÁ§Æ® 1À§ : À̷аú ½ÇÀüÀÇ È®ÀÎ]
Çкλý µ¿¾È 5¹øÀÇ Àü°ø ÇÁ·ÎÁ§Æ® °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×Áß ¡®PD ÃæÀü±â È¿À² ÃøÁ¤¡¯ ÇÁ·ÎÁ§Æ®´Â Á¦°Ô °¡Àå ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â °æÇèÀ̾ú½À´Ï´Ù. 4°³ÀÇ Àü¾Ð/Àü·ù ¼¾¼­·Î ÀÔÃâ·Â Àü·ÂÀ» °è»êÇØ ÃæÀü±â È¿À²À» ÃøÁ¤ÇÏ´Â °úÁ¦¿´½À´Ï´Ù.

ÀúÈñ ÆÀÀº ¿À½Ç·Î½ºÄÚÇÁ, Àü·Â°è µîÀÇ °èÃø±â·Î ȸ·Î ¹× ¼¾¼­ÀÇ Àü¾Ð/Àü·ù¸¦ ÃøÁ¤Çß°í, Àü·ù ÆÄÇü¿¡¼­ ¿¹»ó°ú ´Ù¸¥ ƯÀÌ Çö»óÀ» ¹ß°ßÇß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ ÀüÀÚȸ·Î, Àü·ÂÀüÀÚ°øÇÐ µî¿¡¼­ ¹è¿î ÀÌ·ÐÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÆÀ¿øµé°ú ÇÔ²² ÅäÀÇÇß°í, °ü·Ã ³í¹®µµ ÇÔ²² ã¾ÆºÃ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í ¸¶Ä§³» ÀÌ Æ¯ÀÌ ÆÄÇüÀº ¡®ºñ¼±Çü ºÎÇÏÀÇ ºñ´ëĪ¼º¡¯¿¡ ÀÇÇÑ Çö»óÀ̶ó´Â °ÍÀ» ³í¹®À» ÅëÇØ ¾Ë°Ô µÆ½À´Ï´Ù.

Á¤È®ÇÑ µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®°ú Æ®·¯ºí ½´ÆÃÀ¸·Î Á¦Ç°ÀÇ ¿Ï¼ºµµ¸¦ ³ô¿´½À´Ï´Ù. ÃæÀü±â¿Í ¿¬°áÇÑ ÇÚµåÆù ¹èÅ͸® ±¸°£À» 5´Ü°è·Î ³ª´² Àü·ù/¿ª·ü µîÀÇ º¯¼ö¸¦ ±¸°£º°·Î ÃøÁ¤Çß°í, ÀÌ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÅëÇØ ¡®ÀÌÂ÷ÀüÁö CC-CV Ư¼º¡¯À» È®ÀÎÇß½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÃæÀü±â Ãâ·Â Àü·ù ¸®ÇÃÀÌ Å©´Ù´Â ¹®Á¦°¡ ÀÖ¾ú´Âµ¥, 4°³ÀÇ ¼¾¼­, ³³¶«ÇÑ ºÎºÐ µîÀ» ¿À½Ç·Î½ºÄÚÇÁ·Î Çϳª¾¿ Á¡°ËÇØ ¿øÀÎÀ» Ãâ·Â´Ü Àü·ù¼¾¼­¿¡¼­ ã¾Ò½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ ¡®ÀüÀÚȸ·ÎÀÀ¿ë¡¯¿¡¼­ ¹è¿î Bypass Ä¿ÆнÃÅ͸¦ Àû¿ëÇØ ¸®Çà ũ±â¸¦ ¾à 20¹è °³¼±Çß°í, ÇÁ·ÎÁ§Æ® Àüü 1À§¶ó´Â ÁÁÀº ¼ºÀûÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

À̹ø ÇÁ·ÎÁ§Æ®Ã³·³ ÁÁÀº ¼º°ú¸¦ ÀÌ·é Àûµµ ÀÖÁö¸¸ ½ÇÆÐÇÑ Àûµµ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª Áö±ÝÀÇ Àú·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ °ÍÀº, ´ÜÁö ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÀÇ ¼º°ø/½ÇÆÐ °æÇèÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇßÀ» ¶§ ÆÀ¿øµé°ú ÇÔ²² ³í¹®À» ã¾Æº¸°í, Åä·ÐÇÏ°í, ÀÇ°ßÀ» ¸ð¾Æ Æ®·¯ºí ½´ÆÃÇÑ °æÇèÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ASML¿¡¼­ ±Ù¹«ÇÏ°Ô µÈ´Ù¸é, ÇÔ²²ÇÔÀÇ °¡Ä¡¸¦ ¾Ë°í, Á¤È®ÇÑ Æ®·¯ºí ½´ÆÃÀ» ÅëÇØ È¸»ç¿¡ ´ëÇÑ °¡Ä¡¿Í ½Å·Ú¸¦ ³ôÀÌ´Â ¿£Áö´Ï¾î°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù.

ÀÌÀü ´ÙÀ½
¸ñ·Ï

±â¾÷Á¤º¸ ´õº¸±â

  • ¼³¸³ÀÏ
    1996³â 07¿ù 12ÀÏ
  • ±â¾÷±Ô¸ð
    Áß°ß±â¾÷ (»ç¿ø¼ö 1,979¸í)
  • ¾÷Á¾
    µµ¸Å¡¤»óÇ°Áß°³
  • º¹¸®ÈÄ»ý
    ÁÖ5Àϱٹ«, ¿¬Â÷, ¿ùÂ÷, °æÁ¶ÈÞ°¡, ±¹¹Î¿¬±Ý, ÀǷẸÇè, »êÀ纸Çè, °í¿ëº¸Çè, »ç³»µ¿È£È¸...
    • ÁÖ5Àϱٹ«, ¿¬Â÷, ¿ùÂ÷, °æÁ¶ÈÞ°¡
    • ±¹¹Î¿¬±Ý, ÀǷẸÇè, »êÀ纸Çè, °í¿ëº¸Çè
    • »ç³»µ¿È£È¸
    • ÅðÁ÷±Ý
    • ½Ä´ëÁö¿ø, ±¸³»½Ä´ç, ±³ÅëÁö¿ø, ÃʵîÇÐÀÚ±ÝÁö¿ø, ÁßµîÇÐÀÚ±ÝÁö¿ø, °íµîÇÐÀÚ±ÝÁö¿ø, ´ëÇÐÇÐÀÚ±ÝÁö¿ø
    • ´Üü»ý¸íº¸Çè ÀÇ·áºñ Áö¿ø (°¡Á·Æ÷ÇÔ) ¸Å³â Á¾ÇÕ°Ç°­°ËÁø ½Ç½Ã Àå±â±Ù¼ÓÀÚ Æ÷»ó µ¿È£È¸ °æºñ Áö¿ø »óÁ¶È¸ ¿î¿µ Â÷·® ¿îÇà °æºñÁö¿ø (À¯·ùºñ, Toll Fee) ÈÞ´ëÀüÈ­ »ç¿ë·á Áö¿ø ½ºÅ¹¿É¼Ç
  • ÁÖ¼Ò
    (18449) °æ±âµµ È­¼º½Ã »ï¼º1·Î5±æ 25 (¼®¿ìµ¿)